本文關(guān)鍵詞：2m量級(jí)SiC非球面反射鏡的擺臂輪廓檢測(cè)

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【摘要】：提出采用擺臂式輪廓檢測(cè)的方法,實(shí)現(xiàn)超大口徑Si C反射鏡面形的高精度輪廓檢測(cè)。闡述了采用擺臂輪廓儀檢測(cè)超大口徑反射鏡的基本原理和具體實(shí)施流程;介紹了基于掃描線交點(diǎn)高度一致性的特點(diǎn)進(jìn)行面形重構(gòu)的算法,以及針對(duì)離焦量測(cè)量不準(zhǔn)的問(wèn)題,采用激光跟蹤儀對(duì)面形離焦量進(jìn)行輔助測(cè)量的手段,建立了綜合優(yōu)化的檢測(cè)模型;結(jié)合實(shí)例對(duì)口徑為2040 mm的同軸拋物面Si C反射鏡進(jìn)行了擺臂輪廓檢測(cè),檢測(cè)精度均方根(RMS)為0.46μm,與干涉儀檢測(cè)結(jié)果對(duì)比偏差0.03μm。該技術(shù)與加工機(jī)床集成實(shí)現(xiàn)了反射鏡的在位檢測(cè),以非球面的最接近球面為測(cè)量基準(zhǔn),提供了一種精確、高效地測(cè)量超大口徑光學(xué)非球面面形的方法,滿足了大口徑Si C反射鏡在研磨階段的高精度輪廓檢測(cè)需求。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所中國(guó)科學(xué)院光學(xué)系統(tǒng)先進(jìn)制造技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中國(guó)科學(xué)院大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 測(cè)量 擺臂輪廓檢測(cè) 大口徑非球面 SiC 最接近球面
【基金】：國(guó)家973計(jì)劃(2011CB013205) 國(guó)家自然科學(xué)基金(61210015)
【分類號(hào)】：TH74
【正文快照】： 1引言超大口徑光學(xué)系統(tǒng)具有角分辨率高、能量收集能力強(qiáng)的特點(diǎn),被廣泛用于天文觀測(cè)和空間對(duì)地觀測(cè),而大口徑反射鏡作為光學(xué)系統(tǒng)的關(guān)鍵元件,其加工工藝復(fù)雜、檢測(cè)難度大、加工周期長(zhǎng),是各國(guó)投入大量資金和人力物力研發(fā)的關(guān)鍵技術(shù)之一。由于Si C材料具有優(yōu)越的性能,如比剛度大、

【參考文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

1 康健;宣斌;謝京江;;表面改性碳化硅基底反射鏡加工技術(shù)現(xiàn)狀[J];中國(guó)光學(xué);2013年06期

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

1 羅霄;采用平轉(zhuǎn)動(dòng)應(yīng)力盤技術(shù)加工超大口徑非球面的研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院（長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2011年

【共引文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 徐新行;高云國(guó);楊洪波;王兵;韓旭東;;車載大口徑剛性支撐式快速反射鏡[J];光學(xué)精密工程;2014年01期

2 吳小霞;李劍鋒;宋淑梅;邵亮;明名;;4m SiC輕量化主鏡的主動(dòng)支撐系統(tǒng)[J];光學(xué)精密工程;2014年09期

3 王彤彤;;應(yīng)用表面改性技術(shù)降低燒結(jié)碳化硅反射鏡的表面散射[J];光學(xué)精密工程;2014年12期

4 唐瓦;鄧偉杰;鄭立功;張學(xué)軍;;離子束拋光去除函數(shù)計(jì)算與拋光實(shí)驗(yàn)[J];光學(xué)精密工程;2015年01期

5 沙巍;陳長(zhǎng)征;許艷軍;張星祥;劉磊;王永憲;李新娥;;離軸三反空間相機(jī)主三鏡共基準(zhǔn)一體化結(jié)構(gòu)[J];光學(xué)精密工程;2015年06期

6 董斌超;張舸;;超輕量化SiC反射鏡的制備及性能[J];光學(xué)精密工程;2015年08期

7 殷龍海;王孝坤;李龍響;李麗富;張志宇;鄭立功;張學(xué)軍;;大口徑SiC離軸非球面的高效磨削加工[J];光學(xué)精密工程;2015年09期

8 李龍響;鄭立功;鄧偉杰;王孝坤;李麗富;白楊;張學(xué)軍;;應(yīng)用四軸聯(lián)動(dòng)磁流變機(jī)床加工曲面[J];光學(xué)精密工程;2015年10期

9 柳源;閆如忠;;大尺度光學(xué)玻璃拋光技術(shù)研究[J];機(jī)床與液壓;2014年03期

10 趙蒙;;大口徑非球面精密加工技術(shù)綜述[J];科技視界;2014年15期

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前9條

1 張金平;夏克—哈特曼波前傳感器檢測(cè)大口徑非球面應(yīng)用研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院（長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2012年

2 劉振宇;大口徑非球面反射鏡組合加工技術(shù)駐留時(shí)間算法研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院（長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2013年

3 范磊;2m級(jí)地基望遠(yuǎn)鏡SiC主鏡輕量化設(shè)計(jì)及支撐技術(shù)研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院（長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2013年

4 曾雪鋒;光學(xué)表面頻段誤差對(duì)成像質(zhì)量的影響研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院(長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所);2014年

5 劉海濤;能動(dòng)磨盤加工大口徑非球面關(guān)鍵技術(shù)研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院（光電技術(shù)研究所）;2014年

6 王星;納米膠體空化射流拋光及其關(guān)鍵技術(shù)研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2014年

7 趙洪深;能動(dòng)磨盤動(dòng)態(tài)面形檢測(cè)研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院（光電技術(shù)研究所）;2015年

8 白楊;磁流變拋光液的研制及去除函數(shù)穩(wěn)定性研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院(長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所);2015年

9 閆力松;子孔徑拼接干涉檢測(cè)光學(xué)鏡面算法的研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院(長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所);2015年

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前9條

1 盧文川;SHWS檢測(cè)大口徑離軸非球面的應(yīng)用研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院（長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2012年

2 柳源;超精密光學(xué)玻璃可控式混合磨料流體拋光試驗(yàn)研究[D];東華大學(xué);2013年

3 甘敏華;可控式混合磨料流體拋光裝備中的關(guān)鍵技術(shù)研究[D];東華大學(xué);2014年

4 范俊;光學(xué)自由曲面拋光力/位耦合控制研究[D];吉林大學(xué);2014年

5 聶山鈞;強(qiáng)激光輻照下K9玻璃反射鏡熱變形特性研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院(長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所);2014年

6 任楷;適用于大口徑反射鏡的帶式磁流變拋光裝置研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院(長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所);2014年

7 王波;半接觸狀態(tài)下固結(jié)磨料加工工藝的理論研究[D];天津大學(xué);2014年

8 袁博;粘彈性材料研拋工具的拋光加工[D];吉林大學(xué);2015年

9 戚二輝;大口徑光學(xué)平面鏡低階面形檢測(cè)技術(shù)研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院(長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所);2015年

【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 張玉娣,周新貴,張長(zhǎng)瑞;C_f/SiC陶瓷基復(fù)合材料的發(fā)展與應(yīng)用現(xiàn)狀[J];材料工程;2005年04期

2 唐惠東;李龍珠;孫媛媛;譚壽洪;;SiC反射鏡鏡坯制備工藝的綜述與探討[J];佛山陶瓷;2011年08期

3 楊力,姜文漢;計(jì)算機(jī)控制拋光大口徑高陡度非球面技術(shù)研究[J];光電工程;1999年01期

4 廖文林;戴一帆;周林;王建敏;袁征;解旭輝;;離子束拋光加工矩形離軸非球面鏡[J];國(guó)防科技大學(xué)學(xué)報(bào);2011年01期

5 張學(xué)軍;數(shù)控光學(xué)成形的計(jì)算機(jī)模擬及工藝實(shí)驗(yàn)[J];光學(xué)精密工程;1993年05期

6 鄭立功,張學(xué)軍,張峰;矩形離軸非球面反射鏡的數(shù)控加工[J];光學(xué)精密工程;2004年01期

7 張劍寒;張宇民;韓杰才;赫曉東;姚旺;;空間用碳化硅反射鏡的設(shè)計(jì)制造與測(cè)試[J];光學(xué)精密工程;2006年02期

8 張舸;趙汝成;趙文興;;大尺寸輕型碳化硅質(zhì)鏡體的制造與材料性能測(cè)試[J];光學(xué)精密工程;2006年05期

9 賈立德;鄭子文;戴一帆;李圣怡;;擺臂式非球面輪廓儀的原理與試驗(yàn)[J];光學(xué)精密工程;2007年04期

10 鄧偉杰;鄭立功;史亞莉;王孝坤;張學(xué)軍;;基于線性代數(shù)和正則化方法的駐留時(shí)間算法[J];光學(xué)精密工程;2007年07期

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

1 王權(quán)陡;計(jì)算機(jī)控制離軸非球面制造技術(shù)研究[D];中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所;2001年

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 劉子斌;譚黎民;鄧永起;;擺臂軸熱處理工藝試驗(yàn)與應(yīng)用[J];二汽科技;1987年03期

2 李宇峰;;淺談擺臂式自裝卸汽車及附加裝置的運(yùn)用[J];廣西交通科技;1992年02期

3 吳孔友;;一種聯(lián)鎖擺臂機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)應(yīng)用[J];機(jī)械工程師;2011年04期

4 林良有,張玉秀,朱張校,張欣,杜明英;汽車下擺臂斷裂失效分析[J];金屬熱處理;2004年12期

5 曹沖振;莊佳蘭;王吉岱;王鳳芹;梁程;張玲玲;;輸電線路除冰機(jī)器人豎直擺臂機(jī)構(gòu)研究[J];機(jī)械設(shè)計(jì)與制造;2012年02期

6 衛(wèi)國(guó)軍;金越順;章茜;;擺臂式自裝卸物料運(yùn)輸車的結(jié)構(gòu)與原理[J];起重運(yùn)輸機(jī)械;2006年03期

7 劉勇;;小議當(dāng)前轎車底盤懸掛擺臂結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)[J];科技與企業(yè);2014年08期

8 劉海峰;唐剛;;汽車擺臂斷裂失效分析[J];汽車零部件;2013年04期

9 張a，

本文編號(hào)：1014536