基于抵消型平面?zhèn)鬏斁介電測(cè)試技術(shù)研究
【學(xué)位單位】:電子科技大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【學(xué)位年份】:2019
【中圖分類】:TN811
【部分圖文】:
電子科技大學(xué)碩士學(xué)位論文準(zhǔn)確度的關(guān)鍵。因此,本文將研究簡(jiǎn)單高效的測(cè)量裝置,采用抵消法思路將強(qiáng)傳輸背景信號(hào)相消,從而提取出測(cè)試樣本介電參數(shù)弱變化,并且將測(cè)量輸出結(jié)果與測(cè)試樣本的介電參數(shù)關(guān)聯(lián)起來(lái),實(shí)現(xiàn)從輸出結(jié)果推導(dǎo)出測(cè)試樣本介電參數(shù)特性的目的。1.2國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀2008 年,美國(guó)克萊姆森大學(xué)的 C.R.Song 等設(shè)計(jì)了一種基于片上相消寄生效應(yīng)的介電常數(shù)測(cè)量方法[17]。該裝置基于微帶線結(jié)構(gòu),混合環(huán) λ/4 和 3λ/4 傳輸線的信號(hào)差是使得信號(hào)抵消的主要原因[18],通過(guò)兩路傳輸線信號(hào)抵消程度反映材料介電參數(shù)的差異。測(cè)試原理與實(shí)物裝置如圖 1-1 所示,不同 DUT 線寬的測(cè)量結(jié)果如圖1-2 所示(其中 92mil 線寬的傳輸線特征阻抗為 50Ω):
不同 DUT 線寬的測(cè)量結(jié)果如圖1-2 所示(其中 92mil 線寬的傳輸線特征阻抗為 50Ω):圖 1-1 C.R.Song 等設(shè)計(jì)的裝置示意圖和實(shí)物圖[17]圖 1-2 不同 DUT 線寬實(shí)物測(cè)量結(jié)果[17]雖然該裝置能有效消除寄生效應(yīng),利用介電常數(shù)變化產(chǎn)生輸出結(jié)果,而非傳統(tǒng)直接提取弱信號(hào)的方式,但仍然存在一些缺陷。一方面裝置采用微帶線結(jié)構(gòu),微帶線場(chǎng)強(qiáng)大部分分布在信號(hào)線與接地板之間的介質(zhì)中,而被測(cè)材料并不能放置在測(cè)試裝置場(chǎng)強(qiáng)最強(qiáng)的位置,因此測(cè)量靈敏度會(huì)有所下降。另一方面由于微帶傳
第一章 緒論輸線結(jié)構(gòu)特性,當(dāng)介質(zhì)基板材料、厚度一定時(shí)傳輸線特性阻抗與線寬呈對(duì)應(yīng)關(guān)系,改變線寬會(huì)導(dǎo)致傳輸阻抗不匹配,而共面波導(dǎo)更適合片上集成,因?yàn)楣裁娌▽?dǎo)的特征阻抗由信號(hào)線寬度和槽寬的比值決定,可以按比例縮小結(jié)構(gòu)尺寸而保證傳輸線特性阻抗不變,更適合微量材料的研究。2010 年,Y.Yang等提出一種基于共面波導(dǎo)微流體通道的高靈敏射頻傳感器[19],結(jié)構(gòu)如圖 1-3 所示,同樣利用了片上抵消原理且結(jié)構(gòu)比圖 1-1 更加對(duì)稱,該裝置能夠檢測(cè)酵母細(xì)胞是否失活,不同測(cè)試對(duì)象的結(jié)果如圖 1-4 所示,但是需要通過(guò)使用PDMS(聚二甲基硅氧烷)盒子來(lái)放置材料,可能引入更多的加工誤差,并且測(cè)量結(jié)果抵消點(diǎn) S21幅度變化較小。
【參考文獻(xiàn)】
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