【摘要】：研究一種基于電磁驅(qū)動(dòng)微光機(jī)電系統(tǒng)(MOEMS)光開(kāi)關(guān)陣列的串聯(lián)集成波長(zhǎng)選擇開(kāi)關(guān)結(jié)構(gòu),經(jīng)過(guò)理論分析與計(jì)算,得出螺旋形線圈在相同電流密度下相比于八邊形和四邊形線圈能得到更大的電磁力;通過(guò)模態(tài)分析得到在設(shè)計(jì)的懸臂結(jié)構(gòu)下,支撐臂響應(yīng)時(shí)間約為22 ms。采用濺射、光刻、腐蝕和電鑄等MOEMS工藝完成了光開(kāi)關(guān)懸臂的制作,并通過(guò)制作對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記及采用可見(jiàn)光與紅外光相結(jié)合的裝調(diào)方法,完成了1×8陣列的波長(zhǎng)選擇開(kāi)關(guān)系統(tǒng)集成。經(jīng)過(guò)測(cè)試得到,開(kāi)關(guān)上升和下降的時(shí)間均約為20 ms,當(dāng)電流為0.4 A時(shí),支撐臂的撓度為1.28 mm,能達(dá)到系統(tǒng)光路轉(zhuǎn)換的目的。該波長(zhǎng)選擇開(kāi)關(guān)能夠在2 V電壓下,實(shí)現(xiàn)對(duì)8個(gè)不同波長(zhǎng)信道的任意選擇,其最大的插入損耗為1.741 dB,信道均勻性達(dá)到0.55 dB;插入損耗的測(cè)試結(jié)果與計(jì)算結(jié)果較吻合。
[Abstract]:A series integrated wavelength selective switch structure based on electromagnetically actuated microoptic electromechanical system (MOEMS) optical switch array is studied, which is theoretically analyzed and calculated. Compared with octagonal and quadrilateral coils, the helical coils can obtain greater electromagnetic force at the same current density. Modal analysis shows that the response time of the supporting arm is about 22 ms. under the designed cantilever structure. The optical switch cantilever was fabricated by sputtering, lithography, etching and electroforming, and the wavelength selective switch system of 1 脳 8 array was integrated by making the alignment mark and using the combination of visible light and infrared light. The results show that when the current is 0. 4 A, the deflection of the support arm is 1. 28 mm, and the optical path conversion can be achieved. The wavelength selective switch can choose 8 different wavelength channels arbitrarily at 2 V voltage. The maximum insertion loss of 1.741 dB, channel is equal to 0.55 dB; insertion loss. The measured results are in good agreement with the calculated results.
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中國(guó)科學(xué)院大學(xué);
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(60578036) 吉林省科技發(fā)展計(jì)劃資助項(xiàng)目(20080343) 廣東省省級(jí)科技計(jì)劃資助項(xiàng)目(2016B010111003)
【分類(lèi)號(hào)】：TN929.1

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：2427337