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《2013年（第五屆）西部光子學學術會議論文集》2013年

相移干涉中相位解包裹算法的分析與比較

劉劍  田愛玲  劉丙才  朱學亮  

【摘要】：高效的相位解包裹算法能有效地提高相移干涉測量的精度。文章從原理和實驗結果對繞過殘點解包裹算法、棱形種子解包裹算法、最小二乘法解包裹算法及質量圖導向法進行了對比分析。對含有隨機噪聲的包裹相位圖進行了仿真實驗,結果表明:繞過殘點解包裹算法和棱形種子解包裹算法的運行速度最快,最小二乘法解包裹算法次之,質量圖導向法的運行速度最慢;繞過殘點解包裹算法、棱形種子解包裹算法和質量圖導向法具有較高的測量精度,其解包后的相位經Zernike擬合后的面形RMS值可達10-4λ,而最小二乘法解包裹算法受噪聲點影響較大,所得面形精度的RMS值為10-2λ。

【作者單位】：
【分類號】：TP391.41
【正文快照】：

相移干涉中相位解包裹算法的分析與比較@劉劍$西安工業(yè)大學陜西省薄膜與檢測技術重點實驗室!陜西省西安市710032 @田愛玲$西安工業(yè)大學陜西省薄膜與檢測技術重點實驗室!陜西省西安市710032 @劉丙才$西安工業(yè)大學陜西省薄膜與檢測技術重點實驗室!陜西省西安市710032 @朱

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