金剛石的加工制備一直以來被學(xué)術(shù)界和工業(yè)界高度關(guān)注。針對金剛石的高效去除方法——激光加工,研究激光參數(shù)對金剛石去除量的影響,并采用Box-Behnken試驗設(shè)計法建立金剛石去除深度與各激光參數(shù)之間的擬合關(guān)系式,實現(xiàn)金剛石激光加工的可控去除及預(yù)測。

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圖1激光加工平臺

圖2整個加工面上激光脈沖分布情況

圖3脈沖光斑重疊

圖4激光掃描后的能量密度

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