作為相干衍射成像技術(shù)的一種,相干調(diào)制成像(coherent modulation imaging, CMI)是一種無(wú)透鏡相位成像技術(shù),不同于多光斑相位恢復(fù)技術(shù),通過(guò)引入已知的強(qiáng)波前調(diào)制, CMI可以實(shí)現(xiàn)單次曝光下對(duì)入射波前的快速重建,同時(shí)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單不需要參考光.除了能夠用于相位成像、解決脈沖光束的在線測(cè)量問(wèn)題外,本文將其用于精密光學(xué)元件(峰谷值(peak value, PV)≤0.5l, l=632.8 nm)的面型檢測(cè).為驗(yàn)證其測(cè)量能力,對(duì)10片口徑80 mm、PV值介于0.1l和0.5l之間的石英窗口進(jìn)行了重復(fù)測(cè)量,相比于商業(yè)干涉儀的測(cè)量結(jié)果,CMI算法測(cè)量結(jié)果的峰谷比值的標(biāo)準(zhǔn)偏差是0.0305l (l=632.8 nm),均方根(root-mean-square, RMS)的標(biāo)準(zhǔn)偏差為0.0052l,對(duì)于PV和RMS的測(cè)量精度可達(dá)到0.1l和0.01l,為研究其極限性能,同時(shí)對(duì)PV=l/20的平行平晶進(jìn)行了對(duì)比測(cè)量,分析了其噪聲來(lái)源,考慮到CMI測(cè)量算法仍有很大的改進(jìn)空間,其有望成為一種區(qū)別于干涉測(cè)量的新型高精度光學(xué)元件檢測(cè)技術(shù).

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本文編號(hào)：3821348