<正>衍射光柵是合肥光源光束線中重要的分光元件。本文介紹伴隨合肥光源而發(fā)展起來的衍射光學(xué)元件精密加工實(shí)驗室衍射光柵制備技術(shù)及相關(guān)工作進(jìn)展。一、引言合肥同步輻射裝置是工作在真空紫外-軟X射線波段的連續(xù)光源。在真空紫外-軟X射線波段通常使用光柵單色器分光,將所需的單色光從同步輻射光源中分離出來。衍射光柵是合肥光源重要的色散元件。國家同步輻射實(shí)驗室成立了光學(xué)組,并逐步發(fā)展成現(xiàn)在的衍射光學(xué)元件精密加工實(shí)驗室,

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【文章目錄】：
一、引言
二、光柵單色器概述
三、發(fā)展歷程及為合肥光源研制的同步輻射衍射光柵
四、合肥光源的同步輻射衍射光柵特色技術(shù)
    4.1全息光刻-離子束刻蝕衍射光柵簡介
    4.2大尺寸光柵關(guān)鍵工藝設(shè)備研制
    4.3光刻膠光柵的等離子體灰化技術(shù)
    4.4離子束刻蝕技術(shù)
五、總結(jié)



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