本文對玻璃晶圓加工過程中常見的三種缺陷類型——顆粒缺陷、氣泡缺陷、三角形劃痕的散射光強進(jìn)行分析,發(fā)現(xiàn)不同缺陷結(jié)構(gòu)在空間中有不同的散射光強分布特點,可以建立缺陷結(jié)構(gòu)與散射光強空間分布的對應(yīng)關(guān)系;同時針對產(chǎn)線中晶圓表面微米量級缺陷,進(jìn)行了不同尺寸顆粒缺陷的散射光強度計算,得出了微米級別缺陷尺寸與散射光強度之間的關(guān)系曲線。從而提出一種非成像缺陷檢測方法:檢測獲取缺陷散射光強值與空間分布,利用散射光空間分布結(jié)構(gòu)確定缺陷結(jié)構(gòu)以及利用散射光強計算缺陷尺寸,從而間接確定缺陷信息,達(dá)到缺陷檢測的目的。為晶圓產(chǎn)業(yè)應(yīng)用過程中的缺陷快速檢測提供方法參考。 

【文章頁數(shù)】：6 頁

【文章目錄】：
1 引言
2 缺陷外形結(jié)構(gòu)與散射光空間分布
3 缺陷尺寸與散射光強
4 結(jié)論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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博士論文
[1]精密表面缺陷檢測散射成像理論建模及系統(tǒng)分析研究[D]. 王世通.浙江大學(xué) 2015

碩士論文
[1]納米級激光外差干涉檢測系統(tǒng)的設(shè)計與實現(xiàn)[D]. 朱祥.中北大學(xué) 2017
[2]IC晶圓表面缺陷檢測技術(shù)研究[D]. 馬磊.電子科技大學(xué) 2015



本文編號：3651920