發(fā)布時(shí)間：2021-11-25 14:04

　　空間分辨力是拉曼顯微成像系統(tǒng)成像性能的關(guān)鍵指標(biāo)。提出了一種基于金屬鍍膜方法的拉曼成像橫向空間分辨力檢測(cè)模體,通過(guò)理論分析和數(shù)值模擬建立了成像系統(tǒng)分辨力與成像對(duì)比度的關(guān)系,設(shè)計(jì)并制作了硅-鉻、硅-空氣和PDMS-空氣三種不同材料、不同線寬的檢測(cè)模體,通過(guò)實(shí)驗(yàn)對(duì)模體進(jìn)行了檢測(cè),對(duì)不同材料模體的實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行了比較。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,基于金屬鍍膜的分辨力模體可用于檢測(cè)拉曼成像橫向分辨力,與其他模體相比具有更高的精度和重復(fù)性。 

【文章來(lái)源】：計(jì)量技術(shù). 2020,(05)

【文章頁(yè)數(shù)】：4 頁(yè)

【部分圖文】：

三線靶標(biāo)成像過(guò)程

圖2是像函數(shù)沿垂直于靶標(biāo)方向的拉曼信號(hào)的強(qiáng)度-位移曲線。根據(jù)強(qiáng)度-位移曲線，可計(jì)算得到像函數(shù)的Michelson對(duì)比度。對(duì)于同一個(gè)系統(tǒng)而言，空間頻率越高，對(duì)比度越低，當(dāng)對(duì)比度達(dá)到分辨閾值時(shí)，該頻率對(duì)應(yīng)的靶標(biāo)尺寸即為分辨力�？赏ㄟ^(guò)數(shù)值模擬的方法建立對(duì)比度與分辨力之間的理論關(guān)系。通過(guò)調(diào)整高斯函數(shù)的半高全寬可以模擬不同分辨力的成像系統(tǒng)。用高斯函數(shù)與不同寬度的靶標(biāo)圖案卷積，即可得到相應(yīng)條件下的對(duì)比度。當(dāng)系統(tǒng)分辨力為1μm時(shí)，設(shè)定高斯函數(shù)半高全寬為1μm，對(duì)比度與靶標(biāo)尺寸的對(duì)應(yīng)關(guān)系如圖3所示。該曲線中1μm靶標(biāo)寬度對(duì)應(yīng)的對(duì)比度，可作為靶標(biāo)能否被分辨的閾值，為實(shí)驗(yàn)測(cè)量提供依據(jù)。

可通過(guò)數(shù)值模擬的方法建立對(duì)比度與分辨力之間的理論關(guān)系。通過(guò)調(diào)整高斯函數(shù)的半高全寬可以模擬不同分辨力的成像系統(tǒng)。用高斯函數(shù)與不同寬度的靶標(biāo)圖案卷積，即可得到相應(yīng)條件下的對(duì)比度。當(dāng)系統(tǒng)分辨力為1μm時(shí)，設(shè)定高斯函數(shù)半高全寬為1μm，對(duì)比度與靶標(biāo)尺寸的對(duì)應(yīng)關(guān)系如圖3所示。該曲線中1μm靶標(biāo)寬度對(duì)應(yīng)的對(duì)比度，可作為靶標(biāo)能否被分辨的閾值，為實(shí)驗(yàn)測(cè)量提供依據(jù)。2 實(shí)驗(yàn)與結(jié)果

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]基于三線靶標(biāo)法的在軌MTF評(píng)價(jià)方法及其精度分析研究[J]. 王琦,李顯彬,李曉輝,唐伶俐.  遙感信息. 2011(01)
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本文編號(hào)：3518289