發(fā)布時間：2021-08-05 16:51

　　因工業(yè)進步、生活水平改善,使人們在工作生活中對材料多樣性的需求與日俱增,為了滿足抗磨、耐熱、高溫和高硬度等多種要求,就需要不斷研制出各種符合人們所需的新型材料,考慮到成本及各方面因素人們嘗試在一般的材料上面進行表面處理來提高其應用性能,避免腐蝕和磨損等常見問題,大幅度改善材料的使用時間。材料表面改性技術(shù)是目前材料研究中的熱點,它可以在一些材料普通的金屬基材表面上形成合金層,替代價格昂貴的合金材料,明顯降低了生產(chǎn)中所用到的成本。因性能優(yōu)越和價格低廉等優(yōu)點,等離子體表面改性處理已經(jīng)成為科學研究領(lǐng)域的一個重要的研究方向,在金屬材料和半導體材料表面改性領(lǐng)域應用非常廣泛。材料表面改性主要采用低溫等離子體表面改性技術(shù)。低氣壓射頻輝光放電很容易產(chǎn)生等離子體,并且耗能低。因此,很多材料表面改性都采用低氣壓射頻輝光放電技術(shù)。在這種氣體放電中,氣體壓強對放電特性有著至關(guān)重要的影響。系統(tǒng)深入地研究氣體壓強對放電特性的影響對提高其應用效率起著至關(guān)重要的作用。對這種氣體放電的放電特性進行數(shù)值模擬研究是一個方便、有效的途徑�；诘入x子體流體理論和漂移擴散近似,本文對低氣壓射頻輝光放電產(chǎn)生的等離子體建立了一維流體模... 

【文章來源】：大連理工大學遼寧省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：61 頁

【學位級別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
Abstract
1 緒論
    1.1 研究背景和研究意義
    1.2 等離子體的概念
        1.2.1 等離子體的定義
        1.2.2 等離子體的分類
        1.2.3 等離子體的一般描述方法
    1.3 氣體放電的概念與分類
    1.4 輝光放電的原理分析
        1.4.1 輝光放電的產(chǎn)生與典型條件
        1.4.2 輝光放電過程中粒子的運動
    1.5 本文的研究內(nèi)容及目的
2 等離子體放電的數(shù)值研究方法與流體模型的建立
    2.1 基本物理模型
        2.1.1 模擬對象及模型基本假設(shè)
        2.1.2 模型方程
    2.2 流體模型的計算方法
        2.2.1 分量方程
        2.2.2 初始條件和邊界條件
        2.2.3 無量綱化
        2.2.4 差分格式
        2.2.5 計算步驟
    2.3 本章小結(jié)
3 低氣壓射頻放電中氣體壓強對放電空間分布的影響
    3.1 引言
    3.2 數(shù)值結(jié)果與討論分析
        3.2.1 離子密度和電子密度的空間分布
        3.2.2 電場和電勢的空間分布
        3.2.3 電子溫度和電離率的空間分布
        3.2.4 電子壓強加熱、電子歐姆加熱、電子加熱以及電子能量損失的空間分布
    3.3 本章小結(jié)
4 低氣壓射頻放電中氣體壓強對放電演化特性的影響
    4.1 引言
    4.2 數(shù)值結(jié)果與討論
        4.2.1 對離子密度演化特性的影響
        4.2.2 快速增長階段中放電演化特性的影響
        4.2.3 穩(wěn)態(tài)階段中放電演化特性的影響
    4.3 本章小結(jié)
結(jié)論
參考文獻
攻讀碩士學位期間發(fā)表學術(shù)論文情況
致謝


【參考文獻】：
期刊論文
[1]Effects of gas pressure on plasma characteristics in dual frequency argon capacitive glow discharges at low pressure by a self-consistent fluid model[J]. 趙璐璐,劉悅,Tagra Samir.  Chinese Physics B. 2017(12)
[2]Effect of driving frequency on electron heating in capacitively coupled RF argon glow discharges at low pressure[J]. Tagra Samir,劉悅,趙璐璐,周艷文.  Chinese Physics B. 2017(11)
[3]我國低溫等離子體研究進展（Ⅰ）[J]. 江南.  物理. 2006(02)

博士論文
[1]低溫氣體放電現(xiàn)象的數(shù)值研究[D]. 李弘.中國科學技術(shù)大學 2002

碩士論文
[1]細長圓管內(nèi)低氣壓氬氣射頻輝光放電中放電結(jié)構(gòu)的數(shù)值研究[D]. 李力波.大連理工大學 2017
[2]低氣壓射頻氬氣輝光放電等離子體物理特性的數(shù)值研究[D]. 劉倩.大連理工大學 2015
[3]低氣壓輝光放電等離子體模擬與特性研究[D]. 付強新.西安電子科技大學 2013



本文編號：3324113