氧化硅波導(dǎo)芯層的側(cè)壁粗糙度和角度是導(dǎo)致器件產(chǎn)生光損耗的主要原因之一。為精確測量沉積包層后氧化硅波導(dǎo)芯層側(cè)壁角,研究了一種利用光學(xué)成像顯微鏡測量波導(dǎo)側(cè)壁角度的方法,并詳細(xì)分析了引起測量誤差的顯微物鏡放大倍數(shù)與成像特征之間的關(guān)系。根據(jù)理論分析對波導(dǎo)側(cè)壁角度的測量值進(jìn)行了校正,獲得的實(shí)驗(yàn)結(jié)果與激光共聚焦測量結(jié)果相一致。利用該測量方法對10組已沉積包層波導(dǎo)芯層側(cè)壁角度進(jìn)行了測量并與未沉積包層時(shí)激光共聚焦的測量結(jié)果進(jìn)行對比,得出測量精度在±1°以內(nèi)。該方法為沉積包層后氧化硅波導(dǎo)器件芯層側(cè)壁角度測量提供了一種精確可行的方案。 

【文章來源】：光學(xué)精密工程. 2020,28(12)北大核心EICSCD

【文章頁數(shù)】：8 頁

【部分圖文】：

波導(dǎo)結(jié)構(gòu)與測試放置示意圖

BMM-50型顯微鏡成像系統(tǒng)示意圖

顯微鏡觀察時(shí)將波導(dǎo)底邊成像分為對稱的兩部分

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]三維表面粗糙度測量方法綜述[J]. 何寶鳳,丁思源,魏翠娥,劉柄顯,石照耀.  光學(xué)精密工程. 2019(01)
[2]二氧化硅波導(dǎo)馬赫-澤德型2×2熱光開關(guān)損耗對設(shè)計(jì)與加工精度的依賴性研究[J]. 王軍,付秀華,郭麗君.  長春理工大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版). 2016(02)
[3]雙目立體視覺測量系統(tǒng)的標(biāo)定[J]. 楊景豪,劉巍,劉陽,王福吉,賈振元.  光學(xué)精密工程. 2016(02)
[4]光學(xué)顯微鏡總放大倍數(shù)自校準(zhǔn)方法及測量結(jié)果的不確定度評(píng)定[J]. 畢革平,雷閩,劉文靜,黃寧.  理化檢驗(yàn)(物理分冊). 2010(02)
[5]顯微鏡——相對機(jī)械參考平面的成像距離 第1部分:筒長160mm[J]. 章慧賢.  光學(xué)儀器. 2005(06)
[6]三維表面測量的發(fā)展[J]. 蔣向前,L.Blunt.  工程設(shè)計(jì). 2000(04)
[7]圖像測量系統(tǒng)中的誤差分析及提高測量精度的途徑[J]. 吳曉波,安文斗,楊鋼.  光學(xué)精密工程. 1997(01)



本文編號(hào)：3323168