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甲烷氣體探測與識別系統(tǒng)窄帶濾光膜的研制

發(fā)布時間:2018-05-11 06:17

  本文選題:薄膜 + 拆分技術(shù)。 參考:《中國激光》2017年03期


【摘要】:依據(jù)光學(xué)薄膜理論及光學(xué)材料的特性,結(jié)合膜系設(shè)計(jì)軟件,采用拆分技術(shù)原理,實(shí)現(xiàn)了雙面膜系的設(shè)計(jì),解決了單面膜層過厚、應(yīng)力過大的問題。利用逆向分析法對實(shí)驗(yàn)測試結(jié)果進(jìn)行反演,通過對膜層敏感度分布的研究,分析了產(chǎn)生誤差的原因。采用不同的監(jiān)控方式,使膜系的敏感層厚度得以精準(zhǔn)控制。最終研制的濾光膜光譜測試結(jié)果表明,3.31μm單點(diǎn)透射率為93.7%,通帶半峰全寬為49nm,1~3.2μm和3.4~5μm波段平均透射率為0.17%,滿足系統(tǒng)使用要求。
[Abstract]:According to the theory of optical thin film and the characteristics of optical materials, the design of double-sided film system is realized by using the principle of split technology, combining with the design software of film system, which solves the problem of too thick film layer and too large stress. The inverse analysis method is used to reverse the experimental results and the reasons for the error are analyzed through the study of the sensitivity distribution of the film layer. The sensitive layer thickness of the film system can be precisely controlled by different monitoring methods. The results show that the transmittance of 3.31 渭 m is 93.7 渭 m, the full width of half peak of passband is 49nmnmnmtl 3.2 渭 m and the average transmittance of 3.4 渭 m band is 0.17, which can meet the requirement of the system. The results show that the average transmittance of the filter film is 0.17 渭 m, and the half-width of the pass band is 1.3.2 渭 m and 3.4 渭 m, respectively.
【作者單位】: 長春理工大學(xué)光電工程學(xué)院;
【基金】:吉林省重大科技攻關(guān)專項(xiàng)(20140203002GX)
【分類號】:TN21;O484

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本文編號:1872769

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