本文選題：疊層衍射成像 + 二元光學(xué)元件��； 參考：《物理學(xué)報(bào)》2017年09期

【摘要】：本文提出了一種基于疊層衍射成像(ptychography)的二元光學(xué)元件的檢測方法,該方法可實(shí)現(xiàn)對二元光學(xué)元件表面微觀輪廓的檢測以及特征尺寸的標(biāo)定.相比于傳統(tǒng)的二元光學(xué)元件檢測方法,其使用無透鏡成像技術(shù),簡化了系統(tǒng)結(jié)構(gòu)并可適用于特殊環(huán)境下的檢測.該方法可直接通過采集多幅衍射圖,利用疊層衍射成像迭代算法可精確地復(fù)原大尺寸待測元件的表面微觀輪廓,提高大尺寸器件的檢測效率.本文模擬仿真了臺階高度與噪聲大小對純相位臺階板復(fù)原結(jié)果的影響,并在光學(xué)實(shí)驗(yàn)中選取計(jì)算全息板為樣品,復(fù)原樣品的表面微觀輪廓信息以及得到臺階高度.以白光干涉儀檢測結(jié)果為標(biāo)準(zhǔn),該方法在精度要求不太高的前提下,可獲得令人滿意的成像質(zhì)量.
[Abstract]:In this paper, a detection method of binary optical elements based on stacked diffraction imaging is proposed. This method can detect the micro profile of the surface and calibrate the feature size of binary optical elements. Compared with the traditional binary optical element detection method, it uses lensless imaging technology, which simplifies the system structure and is suitable for detection in special environment. This method can directly collect multiple diffraction images and make use of the iterative algorithm of stacked diffraction imaging to accurately restore the microcosmic profile of the large size elements to be tested and improve the detection efficiency of the large scale devices. In this paper, the effects of step height and noise on the restoration results of pure phase step plate are simulated and simulated. In the optical experiment, the computer-generated holographic plate is selected as the sample, and the surface micro-contour information and the step height of the sample are obtained. With the result of white light interferometer as the standard, the method can obtain satisfactory imaging quality under the condition that the precision is not too high.
【作者單位】： 南京理工大學(xué)電子工程與光電技術(shù)學(xué)院;南京師范大學(xué)物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(批準(zhǔn)號:61377015,61505080,61575095) 中國科協(xié)“青年人才托舉工程”(批準(zhǔn)號:2015QNRC001) 中央高�；究蒲袠I(yè)務(wù)費(fèi)專項(xiàng)資金(批準(zhǔn)號:30920130111007)資助的課題~~
【分類號】：O436.1

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本文編號：1814457