發(fā)布時間：2018-04-13 23:25

  本文選題：軸對中 + 激光對中��； 參考：《應(yīng)用光學(xué)》2017年02期

【摘要】：針對傳統(tǒng)激光對中方法數(shù)學(xué)模型復(fù)雜、求解困難的不足,提出一種基于聚焦物鏡與PSD的激光對中測量方法。該方法利用光學(xué)系統(tǒng)中視場與焦距的關(guān)系以及相似三角形的原理得到不對中的角度偏差和平行偏差,測量原理簡單,求解方便。實驗結(jié)果表明,當(dāng)平行偏量和角度偏量的測量范圍分別為0.5mm~1.5mm,0.047 7°~0.143 2°時,平行偏量測量誤差范圍為0.035mm~0.207mm,角度測量誤差范圍為0.000 2°~0.012 8°。最后對系統(tǒng)測量誤差進(jìn)行分析并提出一種消除安裝誤差影響的方法,給出了計算公式。
[Abstract]:A laser alignment measurement method based on focusing objective lens and PSD is proposed to solve the problem of complex mathematical model of traditional laser alignment method.This method uses the relation between the field of view and the focal length in the optical system and the principle of similar triangle to get the angle deviation and parallel deviation in the misalignment. The measuring principle is simple and the solution is convenient.The experimental results show that when the measurement range of parallel deviation and angle deviation is 0.5mm / 1.5mm / 0.047 擄/ 0.143 2 擄, the error range of parallel deviation is 0.035mm / 0.207mm, and the error range of angle measurement is 0.000 擄/ 0.0128 擄respectively.Finally, the measurement error of the system is analyzed and a method to eliminate the influence of installation error is put forward, and the calculation formula is given.
【作者單位】： 中國科學(xué)院深圳先進(jìn)技術(shù)研究院;香港中文大學(xué);深圳生物醫(yī)學(xué)光電傳感技術(shù)工程實驗室;深圳市亞泰光電技術(shù)有限公司;
【基金】：深圳市科技計劃項目(CXZZ20140609162846202)
【分類號】：TN24

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本文編號：1746692