本文選題：超衍射極限　切入點：激光微納加工　出處：《物理學報》2017年14期

【摘要】：隨著納米科技和微納電子器件的發(fā)展,制造業(yè)對微納加工技術的要求越來越高.激光加工技術是一種綠色先進制造技術,具有巨大的發(fā)展?jié)摿?己廣泛應用于不同的制造領域.為實現(xiàn)低成本、高效率、大面積尤其是高精度的激光微納加工制造,研究和發(fā)展激光超衍射加工技術具有十分重要的科學意義和應用價值.本文首先闡述了基于非線性效應的遠場激光直寫超衍射加工技術的原理與國內外發(fā)展狀況,包括激光燒蝕加工技術、激光誘導改性加工技術和多光子光聚合加工技術等;然后介紹了幾種基于倏逝波的近場激光超衍射加工技術,包括掃描近場光刻技術、表面等離子激元光刻技術等新型超衍射激光近場光刻技術的機理與研究進展;最后對激光超衍射加工中存在的問題及未來發(fā)展方向進行了討論.
[Abstract]:With the development of nanotechnology and micro-nano electronic devices, the manufacturing industry is demanding more and more micro-nano processing technology.Laser processing technology is a kind of green advanced manufacturing technology, which has great development potential and has been widely used in different manufacturing fields.In order to achieve low cost, high efficiency, large area, especially high precision laser micro and nano machining, the research and development of laser superdiffraction processing technology has very important scientific significance and application value.In this paper, the principle and development of far-field laser direct-writing superdiffraction processing based on nonlinear effect are introduced, including laser ablation, laser-induced modification and multi-photon photopolymerization.Then several near-field laser superdiffraction processing techniques based on evanescent wave are introduced, including scanning near-field lithography technology, surface plasma excitation lithography technology and other new super-diffraction laser near-field lithography technology mechanism and research progress.Finally, the problems existing in laser superdiffraction processing and its future development are discussed.
【作者單位】： 南開大學物理科學學院泰達應用物理研究院弱光非線性光子學教育部重點實驗室;青島大學物理科學學院;
【基金】：國家重點基礎研究發(fā)展計劃(批準號:2013CB328702) 國家自然科學基金(批準號:11674182) 天津市自然科學基金(批準號:17JCYBJC16700) 111計劃(批準號:B07013) 教育部長江學者和創(chuàng)新團隊發(fā)展計劃(批準號:IRT_13R29) 山西大學極端光學協(xié)同創(chuàng)新中心資助的課題~~
【分類號】：TN249

【參考文獻】

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6 宋e，

本文編號：1699067