本文選題：聲學(xué)學(xué)報　切入點(diǎn)：矢量水聽器　出處：《聲學(xué)學(xué)報》2017年06期

【摘要】：正根據(jù)《聲學(xué)學(xué)報》優(yōu)秀論文評選辦法,經(jīng)過《聲學(xué)學(xué)報》編輯委員會兩輪評選,編委會一致同意,決定授予李俊紅、魏建輝、馬軍、任偉、劉夢偉、汪承灝等同志的"ZnO薄膜硅微壓電矢量水聽器"(《聲學(xué)學(xué)報》,2016年第41卷第3期第273—280頁)一文為《聲學(xué)學(xué)報》2016年度優(yōu)秀論文獎。編委會認(rèn)為:李俊紅、魏建輝、馬軍、任偉、劉夢偉、汪承灝等同志的"ZnO薄膜硅微壓電矢量水聽器"(《聲學(xué)學(xué)報》,2016年第41卷第3期第273—280頁)研制了一種基于ZnO薄膜的硅微壓電矢量水聽器,其核心部件是利用MEMS技術(shù)制作的懸臂梁結(jié)構(gòu)壓電加速度計。研究得出加速度計的靈敏度和諧振頻
[Abstract]:In accordance with the methods for selecting outstanding articles in Acoustic Journals, after two rounds of selection by the editorial Committee of Acoustics, the editorial Committee unanimously agreed to award Li Junhong, Wei Jianhui, Ma Jun, Ren Wei, Liu Mengwei, Wang Chenghao et al. "ZnO thin Film Silicon Micropiezoelectric Vector hydrophone" (Acoustic Journal, vol. 41, No. 3, pp. 273-280, 2016) is the "Acoustics Journal" Award for the year 2016. The editorial Committee holds that: Li Junhong, Wei Jianhui, Ma Jun, Ren Wei, Liu Mengwei, A silicon micropiezoelectric vector hydrophone based on ZnO thin film was developed by Wang Chenghao and others (Acoustic Journal, vol. 41, No. 3, pp. 273-280, 2016). The key component of the accelerometer is a piezoelectric accelerometer of cantilever beam structure fabricated by MEMS technology. The sensitivity of accelerometer is studied and the harmonic vibration frequency is obtained.
【作者單位】： 中國聲學(xué)學(xué)會《聲學(xué)學(xué)報》編輯委員會;
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本文編號：1675064