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基于飛秒激光時(shí)空聚焦技術(shù)的三維微納加工

發(fā)布時(shí)間:2018-03-24 07:35

  本文選題:激光光學(xué) 切入點(diǎn):三維微納加工 出處:《激光與光電子學(xué)進(jìn)展》2017年04期


【摘要】:介紹飛秒激光時(shí)空聚焦技術(shù)的基本原理,回顧了該技術(shù)在改善飛秒激光加工的分辨率、抑制加工過程中的非線性效應(yīng)以及提高材料加工質(zhì)量等方面的應(yīng)用。重點(diǎn)討論了脈沖前沿傾斜(PFT)、光強(qiáng)平面傾斜等時(shí)空聚焦飛秒激光脈沖的獨(dú)特光場(chǎng)特性及其對(duì)材料加工產(chǎn)生的影響。介紹了時(shí)空聚焦技術(shù)在強(qiáng)場(chǎng)物理領(lǐng)域中的應(yīng)用,并對(duì)該技術(shù)的適用范圍進(jìn)行了討論。最后對(duì)該技術(shù)的特點(diǎn)和應(yīng)用進(jìn)行總結(jié),并指明了未來的研究方向。
[Abstract]:This paper introduces the basic principle of femtosecond laser space-time focusing technology, and reviews its application in improving the resolution of femtosecond laser processing. The applications of suppressing the nonlinear effect in machining process and improving the processing quality of materials are discussed. The special light field characteristics of time-space focusing femtosecond laser pulses, such as pulse front tilt, light intensity plane tilt and so on, are discussed in detail. This paper introduces the application of space-time focusing technology in the field of strong field physics. Finally, the characteristics and applications of the technology are summarized, and the future research direction is pointed out.
【作者單位】: 洛陽師范學(xué)院物理與電子信息學(xué)院;中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所強(qiáng)場(chǎng)激光物理國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中國(guó)航空工業(yè)集團(tuán)公司洛陽電光設(shè)備研究所;
【基金】:國(guó)家自然科學(xué)基金(11304330) 河南省高等學(xué)校重點(diǎn)科研項(xiàng)目(17A140023) 洛陽師范學(xué)院國(guó)家級(jí)培育基金(2015-PYJJ-001)
【分類號(hào)】:TN249

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5 魯欣;張U,

本文編號(hào):1657361


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