本文選題：薄膜　切入點(diǎn)：近場(chǎng)光學(xué)　出處：《中國(guó)激光》2017年01期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：采用近場(chǎng)顯微成像法測(cè)量了高功率激光鏡片薄膜表面裂紋和內(nèi)部節(jié)瘤缺陷,并分析了它們的形成機(jī)制。100nm孔徑的圓錐形針尖輻射的倏逝波與薄膜中預(yù)埋的缺陷相互作用,將倏逝波轉(zhuǎn)化為輻射波后,由物鏡收集并在遠(yuǎn)場(chǎng)逐點(diǎn)成像,同步地獲得薄膜表面的原子力顯微鏡(AFM)圖像和掃描近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡(SNOM)圖像,以便直觀地識(shí)別缺陷產(chǎn)生的物理機(jī)制。結(jié)果表明:在倏逝波的有效作用區(qū)域內(nèi),薄膜表面裂紋與內(nèi)部節(jié)瘤可以同時(shí)精確地被識(shí)別。通過對(duì)比SNOM與AFM結(jié)果,發(fā)現(xiàn)基底表面裂紋在鍍膜過程中積累了殘余應(yīng)力,這導(dǎo)致薄膜的表面呈層狀斷裂,其單條最小裂紋橫向剖面尺寸為165nm,超過了傳統(tǒng)遠(yuǎn)場(chǎng)檢測(cè)的實(shí)驗(yàn)檢測(cè)精度;此外,SNOM圖中的亮斑表明,薄膜的內(nèi)部有高于基底折射率的節(jié)瘤存在。
[Abstract]:The surface cracks and internal nodule defects of high power laser lens films were measured by near-field microscopic imaging. The interaction between the evanescent waves of the cone tip radiation with a .100nm aperture and the embedded defects in the films was analyzed. After the evanescent wave is transformed into a radiation wave, the atomic force microscope (AFM) image of the film surface and the scanning near-field optical microscope (SNOM) image are simultaneously obtained by the objective lens and the far-field imaging point by point. The results show that in the effective range of evanescent wave, the surface crack and internal ganglion can be accurately identified simultaneously. By comparing the results of SNOM and AFM, It is found that the residual stress accumulates in the process of coating on the substrate surface, which leads to the layered fracture on the surface of the thin film. The transverse section size of the single minimum crack is 165 nm, which is higher than the precision of the conventional far field measurement. In addition, the bright spots in SNOM show that there are nodule in the film which is higher than the refractive index of substrate.
【作者單位】： 貴州大學(xué)貴州省光電子技術(shù)及應(yīng)用重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;貴州大學(xué)大數(shù)據(jù)與信息工程學(xué)院;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(11204046) 科技部國(guó)際科技合作專項(xiàng)(2014DFA00670) 貴州省國(guó)際科技合作項(xiàng)目(黔科合外G字[2011]7001號(hào)) 貴陽市科技局項(xiàng)目(筑科合同[2012103]71號(hào))
【分類號(hào)】：O484

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本文編號(hào)：1583540