本文關(guān)鍵詞： 激光沖擊 銅薄膜 能量衰減 數(shù)學(xué)模型 分析　出處：《激光雜志》2017年06期 　論文類(lèi)型：期刊論文

【摘要】：微機(jī)械電子系統(tǒng)中的銅薄膜分布很廣,為了改進(jìn)微機(jī)械電子系統(tǒng)的構(gòu)件性能、延長(zhǎng)使用壽命,提出一種激光沖擊銅薄膜的能量衰減數(shù)學(xué)模型分析新方法。所提方法通過(guò)改進(jìn)Kanai模型給出激光沖擊銅薄膜的能量衰減數(shù)學(xué)模型,使用兩步回歸處理方法確定模型回歸系數(shù),保證模型回歸精度。在模型的基礎(chǔ)上,以激光入射周期為橫坐標(biāo)、多種類(lèi)構(gòu)件面積歸一化結(jié)果為縱坐標(biāo),繪制銅薄膜吸收能量衰減和銅薄膜滯回能量衰減影響曲線圖,根據(jù)曲線分析出構(gòu)件面積、激光強(qiáng)化因子和激光入射距離對(duì)銅薄膜能量衰減的影響規(guī)律。實(shí)驗(yàn)結(jié)果說(shuō)明,所提新方法的模型回歸精度高,分析結(jié)果更加可靠。
[Abstract]:Copper thin films are widely distributed in micromachined electronic systems. In order to improve the performance of components and prolong the service life of micromechanical electronic systems, A new method for analyzing the energy attenuation mathematical model of laser shock copper thin film is proposed. The improved Kanai model is used to obtain the energy attenuation model of the laser shock copper film, and the regression coefficient of the model is determined by using the two-step regression method. On the basis of the model, the laser incident period is taken as the horizontal coordinate and the area normalization result of various kinds of components is the vertical coordinate. The curves of the absorption energy attenuation of copper film and the hysteresis energy attenuation of copper film are plotted. According to the curve, the influence of component area, laser hardening factor and laser incident distance on the energy attenuation of copper thin film is analyzed. The experimental results show that the new method has higher regression accuracy and more reliable analysis results.
【作者單位】： 黃淮學(xué)院數(shù)學(xué)與統(tǒng)計(jì)學(xué)院;
【基金】：2016年河南省高等學(xué)校重點(diǎn)科研項(xiàng)目(16A110005)
【分類(lèi)號(hào)】：TH-39;TN249

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本文編號(hào)：1525718