本文關(guān)鍵詞： 集成光學(xué) 光波導(dǎo) 表面粗糙度 散射損耗　出處：《激光技術(shù)》2017年03期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：SOI納米光波導(dǎo)表面粗糙度會(huì)顯著增加波導(dǎo)散射損耗,降低表面粗糙度是其在許多方面應(yīng)用中亟待解決的關(guān)鍵問題之一。首先介紹了表面粗糙度概念,總結(jié)了表面散射損耗理論方面的研究進(jìn)展。隨后回顧了多種SOI納米光波導(dǎo)表面粗糙度測(cè)量方法,以及在表面形貌表征中存在的問題。此外,還對(duì)幾種波導(dǎo)表面光滑工藝進(jìn)行介紹,并結(jié)合具體的工作對(duì)光波導(dǎo)表面粗糙度各方面研究進(jìn)展進(jìn)行了總結(jié)。
[Abstract]:The surface roughness of SOI nanoscale optical waveguide will increase the scattering loss of waveguide, and reducing the surface roughness is one of the key problems to be solved in many applications. Firstly, the concept of surface roughness is introduced. The research progress in the theory of surface scattering loss is summarized, and several methods for measuring surface roughness of SOI nanoscale optical waveguide are reviewed, as well as the problems in surface morphology characterization. Several surface smoothing techniques are also introduced, and the research progress on surface roughness of optical waveguide is summarized.
【作者單位】： 太原理工大學(xué)信息工程學(xué)院;太原理工大學(xué)新型傳感器與智能控制教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室-微納系統(tǒng)研究中心;中北大學(xué)計(jì)算機(jī)與控制工程學(xué)院;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(61471255;61474079;61501316;51505324) 國(guó)家八六三高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃資助項(xiàng)目(2015AA042601) 教育部博士點(diǎn)基金資助項(xiàng)目(20131402110013) 山西省青年基金資助項(xiàng)目(2014021023-3)
【分類號(hào)】：TN252

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1505075