本文關(guān)鍵詞： 微米孔徑 圓孔衍射 光電檢測(cè) 雙光路 激光　出處：《大學(xué)物理》2017年11期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：工業(yè)生產(chǎn)中經(jīng)常需要測(cè)量微米級(jí)圓孔孔徑的大小.基于圓孔的夫瑯禾費(fèi)衍射原理,激光經(jīng)過(guò)圓孔衍射在接收屏上形成圓環(huán)型條紋分布,孔徑改變時(shí),艾里斑區(qū)域的激光能量密度隨之改變,利用光電池作為光電探測(cè)器,只接收大部分艾里斑中心光強(qiáng)信號(hào)而屏蔽其他高級(jí)次的衍射亮環(huán),光電池輸出的電壓值反應(yīng)了孔徑直徑大小.單片機(jī)作為控制系統(tǒng),采用雙光路的光電檢測(cè)方法,搭建了檢測(cè)系統(tǒng).利用已知孔徑的圓孔標(biāo)定系統(tǒng)后,獲得電壓信號(hào)與孔徑大小的對(duì)應(yīng)關(guān)系,通過(guò)擬合可以得到檢測(cè)系統(tǒng)的函數(shù)關(guān)系式.實(shí)驗(yàn)表明,可以實(shí)現(xiàn)50~300μm孔徑大小的檢測(cè).
[Abstract]:The measurement of micron grade aperture often needed in industrial production. The size of the Fraunhofer diffraction principle based on laser hole, through hole diffraction on the receiving screen to form circular fringes, aperture changes, Elliot laser energy density spots changed, using solar cells as the photoelectric detector, only receiving most Elliot the spot light intensity signal and other higher order diffraction light shielding ring, light battery output voltage value reflects the aperture diameter. The microcontroller as a control system, using photoelectric detection method of double optical path, build a measurement system. The calibration system using circular aperture known after getting the corresponding relationship with the pore size of the voltage signal and the function relation can be obtained by fitting the detection system. The experimental results show that 50~300 can detect m pore size.

【作者單位】： 廣州大學(xué)物理與電子工程學(xué)院;
【基金】：廣州市屬高�？萍加�(jì)劃項(xiàng)目(1201420896) 廣東省自然科學(xué)基金項(xiàng)目(2015A030310832) 廣州大學(xué)教育教學(xué)研究項(xiàng)目(JY201548) 第十五屆全國(guó)“挑戰(zhàn)杯”項(xiàng)目 廣東省科技計(jì)劃項(xiàng)目(2016A070711019)資助
【分類號(hào)】：O436.1
【正文快照】： 工業(yè)生產(chǎn)中經(jīng)常會(huì)使用到微米級(jí)孔徑零件,如微孔過(guò)濾網(wǎng)、霧化器、噴油嘴、噴絲板、拉絲頭等,可以通過(guò)激光燒蝕或者微細(xì)電火花[1]等加工方式獲得.加工制備和使用過(guò)程中孔徑檢測(cè)不可避免,目前微小孔徑檢測(cè)的方法也有很多,如采用微小探針[2,3]、脫模[1,4]和白光干涉[5]等方法,或者

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本文編號(hào)：1464806