本文關鍵詞： 氫等離子體 離子特征 碰撞過程 電子回旋共振等離子體　出處：《真空科學與技術學報》2017年08期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：利用質量能量分析儀研究了微波電子回旋共振(ECR)氫等離子體的離子特征以及氫分子束流引入對離子特征的影響。在工作氣壓1 Pa的放電條件下,探測到了H+、H_2~+和H_3~+三種氫離子,其中H_2~+為主要離子;隨放電功率的增加,探測到的離子通量增加。維持氫氣放電條件不變,在工作區(qū)引入微量的氫分子束流。在束流增加的初始階段,電子-離子的復合反應增強,探測到的三種離子通量都減小;相對于高能離子,低能區(qū)的離子數顯著減少;三種離子歸一化后H_2~+相對含量增加,H_3~+相對含量減少,而H~+的相對含量基本不變;相對含量的變化與不同離子-分子間碰撞的差異有關。隨著氫氣束流進一步增加,各種離子相對含量趨于穩(wěn)定。
[Abstract]:The ion characteristics of the microwave electron cyclotron resonance (ECR) hydrogen plasma and the influence of the introduction of hydrogen molecular beam on the ion characteristics were studied by mass energy analyzer. Three kinds of hydrogen ions have been detected, among which H _ 2H _ 2and H _ 3s ~ are the main ions. With the increase of the discharge power, the detected ion flux increases, the hydrogen discharge condition remains the same, and a small amount of hydrogen molecular beam is introduced into the working area. At the initial stage of the beam increase, the electron-ion recombination reaction is enhanced. The three ion fluxes detected were all decreased. Compared with high energy ions, the number of ions in low energy region was significantly reduced. After the normalization of the three kinds of ions, the relative content of H _ S _ 2 ~ increased and the relative content of H _ T decreased, while the relative content of H ~ was almost unchanged. The change of relative content is related to the difference of the collision between different ions and molecules. With the increase of hydrogen beam current, the relative contents of various ions tend to be stable.
【作者單位】： 中國科學技術大學近代物理系;
【基金】：國家自然科學基金項目(批準號:11375192)
【分類號】：O539
【正文快照】： 在等離子體中分子碰撞過程起著基本的作用。分子-電子碰撞產生離子和電子,這是等離子體產生和維系的主要過程;此外,分子過程也是活性粒子形成的重要途徑。氫氣等離子體是一種被廣泛關注的分子等離子體,在核聚變、等離子體材料處理等方面有著直接的應用[1-3];在天體物理學中,H+

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本文編號：1464077