本文關(guān)鍵詞：薄膜元件基底斷點(diǎn)劃痕的激光輻照效應(yīng)　出處：《中國科學(xué):技術(shù)科學(xué)》2017年09期 　論文類型：期刊論文

  更多相關(guān)文章： 高功率激光 劃痕 激光輻照 時(shí)域有限差分

【摘要】：建立了斷點(diǎn)劃痕的正棱錐模型,在355 nm激光輻照下,用三維時(shí)域有限差分法研究了熔石英后表面具有不同棱角的斷點(diǎn)劃痕對(duì)場分布的調(diào)制作用.結(jié)果表明,電場強(qiáng)區(qū)分布在棱邊一側(cè),深度在亞表面層2λ內(nèi).相同情況下,邊邊相對(duì),比角角相對(duì)和邊角相對(duì)具有更大的調(diào)制強(qiáng)度.隨著棱角數(shù)目的增多,需要更大的坑點(diǎn)間距才能獲得調(diào)制最大值.研究表明這類劃痕誘導(dǎo)的最大電場幅值為入射波的3.70倍,可采用酸蝕或者CO_2激光輻照鈍化棱角的方法來減小調(diào)制.
[Abstract]:A positive prism model of breakpoint scratch was established and irradiated by 355 nm laser. The modulation of field distribution by scratches with different edges on the surface of fused quartz is studied by using 3D finite-difference time-domain method. The results show that the strong electric field is distributed on one side of the edge. The depth is in the subsurface layer 2 位. In the same case, the edge relative, the ratio angle relative and the edge angle have greater modulation intensity, with the increase of the number of edges. The maximum amplitude of electric field induced by this kind of scratch is 3.70 times that of incident wave. The modulation can be reduced by acid etching or CO_2 laser passivation.
【作者單位】： 西南民族大學(xué)電氣信息工程學(xué)院;西南民族大學(xué)藥學(xué)院;
【基金】：西南民族大學(xué)中央高校基本科研業(yè)務(wù)費(fèi)專項(xiàng)資金(編號(hào):2017NZYQN25)資助項(xiàng)目
【分類號(hào)】：TN249
【正文快照】： 1引言在高功率激光技術(shù)中,熔石英元件被廣泛采用m元件光學(xué)面在拋光過程中,由于摩擦作用,產(chǎn)生亞表面損傷并形成劃痕[MI.擋缺陷區(qū)域鍍上光.學(xué)薄膜時(shí),由'于高峰值功率激光的輻照,可出現(xiàn)強(qiáng)場區(qū)或熱分布集中咬從而誘導(dǎo)光學(xué)元件產(chǎn)生激光輻照損傷,進(jìn)而大幅度地限制激光裝崖的負(fù)載能力

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