本文關鍵詞：溫度傳感器校準中激光光束均勻化研究　出處：《激光雜志》2017年07期 　論文類型：期刊論文

  更多相關文章： 光束整形 傳感器校準 均勻化 微透鏡陣列 ZEMAX

【摘要】：在溫度傳感器校準中,用激光光束對其進行加熱,由于激光呈高斯分布,為了使傳感器受熱均勻,需要能量均勻分布的激光光束。為此,研究了激光勻束的方法,最終選用結構簡單、對入射光束變化不敏感且可以承受大功率的衍射型微透鏡陣列對激光進行整形。運用ZEMAX光束仿真軟件進行仿真分析,通過對子透鏡尺寸、透鏡間距離、光束發(fā)散角等因素的對比分析,優(yōu)化出較合適的參數(shù)。搭建實驗平臺,對實際效果進行驗證,得到一個不均勻度為8.9%,能量損耗為7%的一個平頂光束。減小傳感器校準誤差,同時極大的提高了激光的利用率。
[Abstract]:In the calibration of temperature sensor, the laser beam is heated by laser beam. Because the laser is distributed as Gao Si, in order to make the sensor heat evenly, the laser beam with uniform energy distribution is needed. The method of laser beam homogenization is studied, and the structure is simple. The laser is shaped by diffractive microlens array which is insensitive to the change of incident beam and can withstand high power. The ZEMAX beam simulation software is used to simulate and analyze the laser. The size of the sub-lens and the distance between the lenses are analyzed. Through comparative analysis of beam divergence angle and other factors, the more appropriate parameters are optimized. An experimental platform is built to verify the actual effect, and a non-uniformity degree of 8.9% is obtained. A flat-top beam with energy loss of 7%. The calibration error of the sensor is reduced and the laser utilization rate is greatly improved.
【作者單位】： 中北大學;
【基金】：國家自然科學基金(51575499)
【分類號】：TN24;TP212
【正文快照】： 目前,溫度傳感器動態(tài)校準的方法主要有恒溫水/油槽法、激波管法、熱風洞法、激光法等。其中,激光法具有加熱溫度高、速度快等優(yōu)點,非常適用于產生動態(tài)校準所需的激勵溫度。但是由于激光器產生的激光是橢圓形高斯分布的光束,導致在傳感器加熱面分布不均勻,對傳感器的受熱升溫會

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本文編號：1400707