本文關(guān)鍵詞：薄膜厚度對飛秒激光燒蝕銅納米薄膜的影響研究　出處：《科技通報》2017年01期 　論文類型：期刊論文

  更多相關(guān)文章： 飛秒激光 銅納米薄膜 拋物線型雙溫模型 動態(tài)反射率和吸收率

【摘要】：為了研究銅薄膜厚度的變化對飛秒激光燒蝕銅薄膜過程的影響,考慮反射率和吸收率隨溫度變化的特性,采用拋物線型雙溫模型,使用隱式差分的方法進(jìn)行離散化,對250、500、1000 nm三種不同厚度銅納米薄膜,在脈寬為100 fs、能量密度為6500的激光燒蝕下,銅納米薄膜表面的電子溫度、晶格溫度、反射率、熔化深度的變化進(jìn)行計算。計算結(jié)果表明:銅納米薄膜厚度的增加對表面電子溫度的影響不明顯,對表面晶格溫度的影響較大,熔化深度具有較大幅度的減小;在燒蝕過程中,薄膜表面的反射率和吸收率有明顯的下降,將其考慮為常數(shù)處理是欠穩(wěn)妥的。
[Abstract]:In order to study the effect of the thickness of copper film on the process of femtosecond laser ablation of copper thin film, the parabolic double temperature model was used to study the variation of reflectivity and absorptivity with temperature. Three kinds of copper nanocrystalline thin films with different thickness of 2500nm and 1000nm have been discretized by implicit difference method under laser ablation with pulse width of 100fs and energy density of 6500. The changes of electron temperature, lattice temperature, reflectivity and melting depth on the surface of copper nanocrystalline films are calculated. The results show that the increase of the thickness of copper nanocrystalline films has no obvious effect on the surface electron temperature. The influence of the surface lattice temperature on the surface lattice temperature is greater, and the melting depth decreases greatly. In the process of ablation, the surface reflectivity and absorptivity of the film decrease obviously, and it is not safe to consider it as a constant treatment.
【作者單位】： 浙江大學(xué)航空航天學(xué)院;
【分類號】：O484
【正文快照】： 由于飛秒激光的脈寬極窄,可以達(dá)到10-15s的數(shù)量級,因此飛秒激光可以在很低的脈沖能量的條件下即可獲得非常高的功率密度,此外,由于飛秒激光的脈寬可以比電子弛豫時間、電子-聲子弛豫時間更短[1,2],因此可以用于調(diào)控電子狀態(tài),實(shí)現(xiàn)對金屬材料的“非熱加工”。飛秒激光在物理、化

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