本文關(guān)鍵詞：脈沖調(diào)制對(duì)大氣壓射頻輝光放電穩(wěn)定性的影響　出處：《東華大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版)》2017年02期 　論文類(lèi)型：期刊論文

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【摘要】：大氣壓射頻輝光放電的不穩(wěn)定性是限制其應(yīng)用的主要原因,脈沖調(diào)制射頻技術(shù)有助于提高放電穩(wěn)定性.通過(guò)試驗(yàn)診斷放電電學(xué)特性,進(jìn)一步研究了大氣壓脈沖調(diào)制射頻輝光放電中脈沖調(diào)制參數(shù)對(duì)放電穩(wěn)定性的影響.當(dāng)固定調(diào)制脈沖頻率而降低占空比時(shí),特別是當(dāng)射頻放電段工作在起輝階段時(shí),α放電模式的電壓和電流范圍都增加;當(dāng)射頻頻率提高時(shí)也有助于增加射頻放電工作在α模式的電流范圍.在試驗(yàn)中固定電壓幅值,研究射頻頻率在5、10和15 MHz時(shí)α-γ放電模式轉(zhuǎn)變隨占空比的變化,驗(yàn)證了在低占空比下可以獲得更穩(wěn)定的α模式放電,另外在氦氣中摻入1.5%氮?dú)獾那闆r下獲得了脈沖調(diào)制射頻輝光放電穩(wěn)定工作在α模式.研究結(jié)果表明,通過(guò)調(diào)制脈沖參數(shù)可以控制大氣壓脈沖調(diào)制射頻輝光放電的穩(wěn)定性.
[Abstract]:The instability of RF glow discharge at atmospheric pressure is the main reason for limiting its application . The pulse modulation radio frequency technology helps to improve the discharge stability . When the frequency of radio frequency decreases , the voltage and current range of 偽 - discharge mode are increased . In addition , when the radio - frequency frequency increases , a more stable 偽 - mode discharge can be obtained . In addition , when the RF frequency is increased , the stability of RF glow discharge can be controlled at 5 , 10 and 15 MHz . The results show that the stability of the pulse - modulated RF glow discharge can be controlled by the modulation of the pulse parameters .

【作者單位】： 東華大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院;東華大學(xué)理學(xué)院;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(11475043,11375042)
【分類(lèi)號(hào)】：O461.21
【正文快照】： 大氣壓射頻輝光放電(RF APGDs)是產(chǎn)生大氣壓低溫等離子體的放電形式之一[1-2],相對(duì)于激發(fā)頻率在千赫茲范圍的大氣壓介質(zhì)阻擋放電和高壓脈沖放電[3-4],由于其具有等離子體密度高的特性,在材料表面處理、薄膜沉積和生物滅菌等應(yīng)用方面都體現(xiàn)出較高的處理效率[5-6].但是大氣壓射

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本文編號(hào)：1381473