本文關(guān)鍵詞：用于低溫多晶硅制備的線光束整形系統(tǒng)　出處：《中國激光》2017年09期 　論文類型：期刊論文

  更多相關(guān)文章： 激光技術(shù) 線光束整形 光束均勻性 準(zhǔn)分子激光退火 低溫多晶硅制備

【摘要】：設(shè)計了一套用于準(zhǔn)分子激光低溫多晶硅制備的線光束整形系統(tǒng)。系統(tǒng)中設(shè)置的光斑轉(zhuǎn)換模塊可使原始光束截面橫縱倒置;利用擴(kuò)束模塊對原始光束的短軸進(jìn)行準(zhǔn)直,其擴(kuò)束倍率可限定短軸光束尺寸,以配合短軸光束均勻模塊的孔徑;采用基于透鏡陣列的長軸、短軸光束均勻模塊可在提高光斑能量分布均勻性的同時,約束光斑尺寸;系統(tǒng)中設(shè)置了投影模塊,可將光束投影于工件表面。為了實現(xiàn)系統(tǒng)中光學(xué)原件的精密定位,設(shè)計并加工了配套的機(jī)械調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu);結(jié)合仿真實驗,討論了陣列單元的中心偏差及工作面的偏離對線光斑質(zhì)量的影響。利用該線光束整形系統(tǒng)對自行研制的大能量準(zhǔn)分子激光光源進(jìn)行整形,實測的系統(tǒng)能量傳遞效率為33%,工件表面的光斑尺寸約為100mm×0.3mm,平均能量密度為470mJ·cm~(-2),長軸能量分布均勻度為93.95%,滿足退火技術(shù)的要求。
[Abstract]:A linear beam shaping system for preparing low temperature polysilicon by excimer laser is designed. The beam expansion module is used to collimate the short axis of the original beam, and its beam expansion rate can limit the size of the short axis beam to match the aperture of the uniform module of the short axis beam. The long axis and short axis beam uniformity module based on lens array can improve the uniformity of energy distribution and restrict the size of light spot. A projection module is set up in the system, which can project the light beam to the workpiece surface. In order to realize the precise positioning of the optical original in the system, the matching mechanical adjusting structure is designed and machined. The effect of the center deviation of the array element and the deviation of the working face on the quality of the linear spot is discussed in combination with the simulation experiment. The laser source of large energy excimer laser developed by ourselves is shaped by the line beam shaping system. The measured energy transfer efficiency of the system is 33, the spot size on the surface of the workpiece is about 100mm 脳 0.3mm, and the average energy density is 470mJ 路cm ~ (-2). The uniformity of the long axis energy distribution is 93.95, which meets the requirements of annealing technology.
【作者單位】： 中國科學(xué)院安徽光學(xué)精密機(jī)械研究所安徽省光子器件與材料重點實驗室;中國科學(xué)技術(shù)大學(xué);
【基金】：安徽省國際合作項目(1403062009)
【分類號】：TN24;TN304.12
【正文快照】： 0906002-1OCIS codes 140.3300;140.2180;140.3390目前,有源矩陣液晶顯示技術(shù)和有源有機(jī)發(fā)光二極管顯示技術(shù)是兩種先進(jìn)的平板顯示技術(shù)[1-2]。薄膜晶體管作為有源驅(qū)動的核心部件,其性能決定了顯示器的信息傳遞量與傳遞效率。與非晶硅薄膜晶體管相比,多晶硅薄膜晶體管的電子遷移

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本文編號：1379180