發(fā)布時(shí)間：2018-01-01 23:28

  本文關(guān)鍵詞：徑向偏振光對(duì)微納尺度聚合物結(jié)構(gòu)縱向分辨率的改善　出處：《量子電子學(xué)報(bào)》2017年01期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：研究了徑向偏振型飛秒脈沖激光并將其引入基于雙光子吸收理論的微納加工系統(tǒng),得到了更高縱向分辨率、更低長(zhǎng)徑比的二維微納尺度聚合物結(jié)構(gòu)。對(duì)聚焦光場(chǎng)內(nèi)光強(qiáng)分布的理論模擬表明:徑向偏振型飛秒脈沖激光在提高縱向分辨率的同時(shí)會(huì)在一定程度上降低聚合物結(jié)構(gòu)的橫向分辨率,使聚合物結(jié)構(gòu)的長(zhǎng)徑比降低。用掃描電子顯微鏡表征聚合物結(jié)構(gòu)得到的結(jié)果與理論模擬結(jié)果具有良好的一致性。徑向偏振型飛秒脈沖激光提高了微納尺度聚合物結(jié)構(gòu)的縱向分辨率,在激光光刻領(lǐng)域有良好的應(yīng)用前景。
[Abstract]:The micro - nano - scale polymer structure with higher longitudinal resolution and lower aspect ratio is obtained by using the micro - nano processing system based on two - photon absorption theory . The theoretical simulation of the light intensity distribution in the focused light field shows that the radial polarization type femtosecond pulse laser can reduce the transverse resolution of polymer structure to a certain extent , so that the aspect ratio of the polymer structure is reduced . The results obtained by using scanning electron microscope to characterize polymer structure have good agreement with theoretical simulation results . The radial polarization femtosecond pulse laser has improved the longitudinal resolution of the micro - nano - scale polymer structure and has good application prospect in laser lithography .

【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院理化技術(shù)研究所;中國(guó)科學(xué)院大學(xué);中國(guó)科學(xué)院重慶綠色智能技術(shù)研究院;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金,91323301,61275171,91123032,61275048,61205194 科技部國(guó)家納米重大研究計(jì)劃,2010CB934100~~
【分類號(hào)】：O437;O436.3
【正文快照】： l引言作為近年來(lái)得到廣泛研究和迅速發(fā)展的一種新型微納加工技術(shù),飛秒脈沖激光雙光子加工具有低成本、高分辨率、高精度、真三維等優(yōu)點(diǎn)W。2001年,日本大阪大學(xué)Kawata教授研究組利用780 nm的飛秒脈沖激光雙光子光聚合效應(yīng),得到了超越衍射極限的120 nm加工分辨率,并制備出微米牛

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1 何智兵;陽(yáng)志林;閆建成;宋之敏;盧鐵城;;輝光放電聚合物結(jié)構(gòu)及力學(xué)性質(zhì)研究[J];物理學(xué)報(bào);2011年08期

2 黃華,郭靈虹;晶態(tài)聚合物結(jié)構(gòu)的X射線衍射分析及其進(jìn)展[J];化學(xué)研究與應(yīng)用;1998年02期

3 ;[J];;年期

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1 尋知慶;于天君;曾毅;陳金平;李Z，

本文編號(hào)：1366699