本文關(guān)鍵詞：新型鋁基共面微腔等離子體陣列在氖氣中放電的光特性研究　出處：《真空科學與技術(shù)學報》2017年04期 　論文類型：期刊論文

  更多相關(guān)文章： 共面微腔等離子體陣列 光強分布 放電演變 波動傳播

【摘要】：在厚度為100μm的鋁基底上,制作了一種由隙縫相連的六邊形共面微腔陣列,研究了方波驅(qū)動下,該微腔陣列在氖氣中的放電發(fā)光分布與氣壓的關(guān)系,光譜分布及放電的演變過程。結(jié)果表明:這種隙縫相連的六邊形共面微腔陣列放電時,隨氣壓的升高,發(fā)光光強分布從腔體中心位置逐步向腔體側(cè)壁移動,其發(fā)光光譜為588 nm的可見光和312 nm的紫外光。增強電荷耦合器件拍攝的陣列放電瞬時狀態(tài)表明,在一個方波驅(qū)動周期的兩次放電中,共面微腔等離子體陣列放電演變呈現(xiàn)出等離子波動傳播的現(xiàn)象,且這兩次傳播方向相反,傳播速度均為10~15 km/s。
[Abstract]:The thickness of aluminum substrate 100 m, fabricated by slot connected hexagonal coplanar micro cavity array, the square wave drive, the micro cavity array discharge in neon light emission in distribution and pressure, the evolution of spectral distribution and discharge. The results show that the connected hexagonal slot coplanar discharge micro cavity array, with the increasing of gas pressure, light intensity distribution from the cavity center position gradually to the side wall of the cavity of the mobile, the emission spectrum of UV visible light for 588 nm and 312 nm. The enhanced CCD array shooting discharge transient state shows that the two discharge in a square wave driving cycle in the coplanar microcavity plasma discharge array evolution shows plasma wave propagation phenomenon, and the two spread in the opposite direction, the propagation velocity was 10~15 km/s.

【作者單位】： 西安交通大學電子物理與器件教育部重點實驗室;
【基金】：國家自然科學基金項目(No.61372018)
【分類號】：O461;O53
【正文快照】： 微腔等離子體放電是將工作氣體限制在微米級的空間中來實現(xiàn)穩(wěn)定氣體放電過程,產(chǎn)生非平衡低溫等離子體,微腔等離子體放電空間尺寸小,可在高氣壓下實現(xiàn)穩(wěn)定的放電,具備獨特的放電特性,如弱電離化,活性粒子多,離子密度高等特點[1]。因此,等離子體的應用領(lǐng)域也非常廣泛,可充當紫外

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