本文關(guān)鍵詞：激光誘導(dǎo)背向濕式刻蝕藍(lán)寶石過(guò)程中聲發(fā)射信號(hào)檢測(cè)試驗(yàn)　出處：《中國(guó)激光》2017年04期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：利用聲發(fā)射儀對(duì)脈沖光纖激光誘導(dǎo)背向濕式刻蝕藍(lán)寶石的過(guò)程進(jìn)行了試驗(yàn)研究。在激光誘導(dǎo)背向濕式刻蝕藍(lán)寶石的過(guò)程中檢測(cè)到的聲發(fā)射信號(hào)包含豐富的特征信息;利用聲發(fā)射信號(hào)的幅度、能量計(jì)數(shù)和撞擊計(jì)數(shù)等特征參數(shù)對(duì)激光誘導(dǎo)背向濕式刻蝕藍(lán)寶石過(guò)程進(jìn)行表征;藍(lán)寶石未被切穿時(shí)聲發(fā)射信號(hào)表現(xiàn)為聲發(fā)射事件少,幅度大(90~100dB),能量計(jì)數(shù)較大,撞擊計(jì)數(shù)較小;藍(lán)寶石被切穿后聲發(fā)射信號(hào)表現(xiàn)為聲發(fā)射事件多,幅度小(40~80dB),能量計(jì)數(shù)基本為0,撞擊計(jì)數(shù)較大。
[Abstract]:The process of back wet etching of sapphire by pulsed fiber laser was studied by acoustic emission instrument. The acoustic emission signal detected during laser induced wet etching of sapphire contains abundant characteristic information. Interest; The laser induced back wet etching process of sapphire was characterized by the amplitude of acoustic emission signal, energy count and impact count. When sapphire is not cut through, the acoustic emission signal shows less acoustic emission events, with a large amplitude of 90 ~ 100 dB ~ (-1), larger energy count and smaller impact count. After sapphire is cut through, the acoustic emission signal shows more acoustic emission events, with a small amplitude of 40 ~ 80dB ~ (-1), an energy count of 0 and a large impact count.
【作者單位】： 廣東工業(yè)大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(51575114) 廣東省普通高校特色創(chuàng)新項(xiàng)目(2014KTSCX059) 廣州市科技計(jì)劃(201607010156) 廣東省自然科學(xué)基金(S2013010014070)
【分類號(hào)】：TS933.3;TN249
【正文快照】： 1引言 藍(lán)寶石具有高耐磨性、高硬度、高熔點(diǎn)及化學(xué)性能穩(wěn)定等特點(diǎn),是重要的光學(xué)元件和半導(dǎo)體襯底材料,廣泛應(yīng)用于工業(yè)、國(guó)防和科研等領(lǐng)域[1-4]。激光誘導(dǎo)背向濕式刻蝕技術(shù)具有加工無(wú)重凝層、微裂紋少和熱影響區(qū)域小等優(yōu)點(diǎn),工作液體在加工過(guò)程中還能起到冷卻工件的作用。Zimme

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