本文關(guān)鍵詞：激光誘導背向濕式刻蝕藍寶石過程中聲發(fā)射信號檢測試驗　出處：《中國激光》2017年04期 　論文類型：期刊論文

  更多相關(guān)文章： 激光技術(shù) 激光誘導背向濕式刻蝕 聲發(fā)射信號 藍寶石

【摘要】：利用聲發(fā)射儀對脈沖光纖激光誘導背向濕式刻蝕藍寶石的過程進行了試驗研究。在激光誘導背向濕式刻蝕藍寶石的過程中檢測到的聲發(fā)射信號包含豐富的特征信息;利用聲發(fā)射信號的幅度、能量計數(shù)和撞擊計數(shù)等特征參數(shù)對激光誘導背向濕式刻蝕藍寶石過程進行表征;藍寶石未被切穿時聲發(fā)射信號表現(xiàn)為聲發(fā)射事件少,幅度大(90~100dB),能量計數(shù)較大,撞擊計數(shù)較小;藍寶石被切穿后聲發(fā)射信號表現(xiàn)為聲發(fā)射事件多,幅度小(40~80dB),能量計數(shù)基本為0,撞擊計數(shù)較大。
[Abstract]:The process of back wet etching of sapphire by pulsed fiber laser was studied by acoustic emission instrument. The acoustic emission signal detected during laser induced wet etching of sapphire contains abundant characteristic information. Interest; The laser induced back wet etching process of sapphire was characterized by the amplitude of acoustic emission signal, energy count and impact count. When sapphire is not cut through, the acoustic emission signal shows less acoustic emission events, with a large amplitude of 90 ~ 100 dB ~ (-1), larger energy count and smaller impact count. After sapphire is cut through, the acoustic emission signal shows more acoustic emission events, with a small amplitude of 40 ~ 80dB ~ (-1), an energy count of 0 and a large impact count.
【作者單位】： 廣東工業(yè)大學機電工程學院;
【基金】：國家自然科學基金(51575114) 廣東省普通高校特色創(chuàng)新項目(2014KTSCX059) 廣州市科技計劃(201607010156) 廣東省自然科學基金(S2013010014070)
【分類號】：TS933.3;TN249
【正文快照】： 1引言 藍寶石具有高耐磨性、高硬度、高熔點及化學性能穩(wěn)定等特點,是重要的光學元件和半導體襯底材料,廣泛應用于工業(yè)、國防和科研等領(lǐng)域[1-4]。激光誘導背向濕式刻蝕技術(shù)具有加工無重凝層、微裂紋少和熱影響區(qū)域小等優(yōu)點,工作液體在加工過程中還能起到冷卻工件的作用。Zimme

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