本文關(guān)鍵詞：改進型量子進化算法在寬帶EUV多層膜設(shè)計中的應用　出處：《光學精密工程》2017年08期 　論文類型：期刊論文

  更多相關(guān)文章： 薄膜光學 多層膜設(shè)計 改進型量子進化算法 寬帶極紫外多層膜

【摘要】：為提高基于量子進化算法(QEA)在寬帶極紫外(EUV)多層膜設(shè)計中的求解效率和精度,本文利用寬帶多層膜的光學性能評價函數(shù)的梯度信息改進QEA,建立具有明確進化方向的適用于寬帶EUV多層膜設(shè)計的改進型量子進化算法(IQEA)。對比分析了基于IQEA和QEA的寬帶Mo/Si多層膜的膜系設(shè)計過程和結(jié)果,結(jié)果表明,基于IQEA的多層膜膜系設(shè)計理論方法具有更優(yōu)越的求解效率和精度;同時,IQEA同樣可以小種群規(guī)模進行多參數(shù)優(yōu)化�；贗QEA的寬帶Mo/Si多層膜的設(shè)計理論實現(xiàn)了包括入射角為0°~18°,反射率達50%的寬角度多層膜,以及反射光譜帶寬為13~15nm,反射率達25%的寬光譜多層膜的設(shè)計。基于IQEA的寬帶高反射率EUV多層膜的理論膜系設(shè)計方法為復雜多層膜的理論設(shè)計提供了一種可供選擇的高效膜系設(shè)計方法。
[Abstract]:......
【作者單位】： 長春理工大學理學院;中國科學院長春光學精密機械與物理研究所;
【基金】：國家自然科學基金青年基金資助項目(No.61405189) 吉林省科技發(fā)展計劃資助項目(No.20150101019JC;20170312024ZG)
【分類號】：O484;TP18
【正文快照】： 1引言極紫外(Extreme Ultraviolet,EUV)波段內(nèi)的強吸收作用使得EUV波段的輻射研究十分困難。1972年,E.Spiller首次提出采用高低折射率材料交替制備λ/4波堆的多層膜結(jié)構(gòu),在理論上可獲得較高的非掠入射反射率[1]。這個思路給EUV波段的輻射研究帶來了曙光,使這一問題得到了解決

【相似文獻】

相關(guān)期刊論文 前6條

1 蔡延光;張敏捷;蔡顥;章云;;混合混沌量子進化算法[J];系統(tǒng)工程理論與實踐;2012年10期

2 徐麗;利稷夫;張華;;量子進化算法在網(wǎng)絡(luò)平衡分配模型中的應用[J];電子元器件應用;2009年12期

3 郭永;張韌;;量子進化膜算法及其背包問題應用[J];電子元器件應用;2012年09期

4 張偉豐;錢潔;;一種漸變概率選擇操作的實數(shù)編碼量子進化算法[J];湖北汽車工業(yè)學院學報;2013年04期

5 李國柱;;基于改進量子進化算法的PID參數(shù)優(yōu)化[J];現(xiàn)代電子技術(shù);2012年16期

6 權(quán)芳芳;許峰;;基于量子位Bloch球面坐標的量子進化算法[J];軟件導刊;2013年02期

相關(guān)博士學位論文 前1條

1 譚立湘;量子進化算法中信息共享機制研究[D];中國科學技術(shù)大學;2010年

相關(guān)碩士學位論文 前4條

1 錢小毅;基于等位基因量子進化算法的經(jīng)紗斷頭率優(yōu)化研究[D];沈陽工業(yè)大學;2016年

2 李桂紅;量子進化算法的研究及應用[D];河北工程大學;2009年

3 石洪竺;量子進化聚類算法研究[D];西安電子科技大學;2010年

4 劉范范;MapReduce與量子進化算法的研究及應用[D];安徽大學;2012年

，

本文編號：1348829