本文關(guān)鍵詞：等離子體密度對(duì)放電等離子體極紫外光源影響研究　出處：《光譜學(xué)與光譜分析》2017年08期 　論文類型：期刊論文

  更多相關(guān)文章： 放電等離子體 極紫外輻射 毛細(xì)管放電 極紫外光源

【摘要】：等離子體狀態(tài)是決定極紫外光源功率和轉(zhuǎn)換效率的最重要因素之一,理論和實(shí)驗(yàn)研究上Xe氣流量對(duì)放電等離子體極紫外光源輻射譜和等離子體狀態(tài)的影響,對(duì)于優(yōu)化光源工作條件具有重要的意義。理論上,采用碰撞-輻射模型,模擬了非局部熱力學(xué)平衡條件下,不同電離度的離子豐度分布隨電子溫度和離子密度的變化。推導(dǎo)了Xe8+~Xe11+離子4d-5p躍遷譜線強(qiáng)度隨電子溫度的變化趨勢(shì)。實(shí)驗(yàn)上,采用毛細(xì)管放電機(jī)制,利用羅蘭圓譜儀測量和分析了不同等離子體密度條件下,放電等離子體極紫外光譜的變化,分析了Xe氣流量對(duì)等離子體狀態(tài)的影響。理論和實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:相同的電流條件下,等離子體箍縮時(shí)的平均電子溫度隨著Xe氣流量的增加而降低。對(duì)于4d-5p躍遷,低電離度離子與高電離度離子譜線強(qiáng)度的比值隨著溫度的增加而減少。電流28kA、Xe氣流量0.4sccm(cm3·min-1)時(shí),等離子體Z箍縮平均電子溫度位于29eV附近。Xe氣流量增加時(shí),受離子密度和最佳電子溫度的影響,實(shí)現(xiàn)Xe10+離子4d-5p躍遷13.5nm(2%帶寬)輻射譜線強(qiáng)度最優(yōu)化的Xe氣流量位于0.3~0.4sccm之間。
【作者單位】： 東北林業(yè)大學(xué)理學(xué)院;哈爾濱工業(yè)大學(xué)可調(diào)諧激光技術(shù)國家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(61505025) 國家科技重大專項(xiàng)(2008ZX02501-001) 中央高校基本科研業(yè)務(wù)費(fèi)專項(xiàng)(2572015BX09)資助
【分類號(hào)】：O53;TN23
【正文快照】： 引言目前,為了10nm及以下特征尺寸的光刻線,常采用極紫外(EUV)光刻技術(shù),其工作波長為13.5nm(2%帶寬)。EUV光刻技術(shù)采用此波段范圍的主要原因是,光刻機(jī)中的反射鏡為Mo/Si多層反射鏡,其在13.5nm(2%帶寬)波段有很高的反射率(~70%)[1],同時(shí)性能穩(wěn)定。實(shí)現(xiàn)EUV光源的工作介質(zhì)主要有S

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 王海達(dá);氬氣直流放電等離子體中三穩(wěn)現(xiàn)象的半經(jīng)典理論[J];物理學(xué)報(bào);1990年12期

2 尹淑慧;;電暈放電與介質(zhì)阻擋放電等離子體簡介[J];現(xiàn)代物理知識(shí);2006年02期

3 李鋼;李軼明;徐燕驥;張翼;李漢明;聶超群;朱俊強(qiáng);;介質(zhì)阻擋放電等離子體對(duì)近壁區(qū)流場的控制的實(shí)驗(yàn)研究[J];物理學(xué)報(bào);2009年06期

4 高樹香 ,陳文靜;混合氣體放電等離子體電子溫度的理論計(jì)算[J];電子器件;1987年01期

5 陳遠(yuǎn)喜;劉祖黎;;氣體放電等離子體參量診斷實(shí)驗(yàn)[J];物理實(shí)驗(yàn);1993年02期

6 李漢明;李英駿;毛靈濤;李鋼;張翼;劉峰;王芳;聶超群;李玉同;張杰;;絕緣阻擋放電等離子體弦向溫度分布研究[J];科技導(dǎo)報(bào);2007年18期

7 李勁,王澤文,高秋華,李勝利;放電等離子體水處理技術(shù)中的放電問題[J];高電壓技術(shù);1997年02期

8 程鈺鋒;聶萬勝;車學(xué)科;;臨近空間介質(zhì)阻擋放電等離子體氣動(dòng)激勵(lì)效果的數(shù)值分析[J];高電壓技術(shù);2011年06期

9 李軍;吳韋韋;宋慧敏;賈敏;金迪;;靜止空氣中重頻脈沖火花放電等離子體的氣動(dòng)激勵(lì)特性[J];高電壓技術(shù);2013年07期

10 盧新培,潘垣,張寒虹;水中脈沖放電等離子體通道特性及氣泡破裂過程[J];物理學(xué)報(bào);2002年08期

相關(guān)會(huì)議論文 前10條

1 趙書霞;王友年;;射頻感應(yīng)耦合放電等離子體模式跳變的混合模擬[A];第十四屆全國等離子體科學(xué)技術(shù)會(huì)議暨第五屆中國電推進(jìn)技術(shù)學(xué)術(shù)研討會(huì)會(huì)議摘要集[C];2009年

2 劉睿強(qiáng);劉悅;Tagra Samir;劉倩;張向東;;低氣壓射頻和脈沖射頻氬氣放電等離子體的比較[A];第十六屆全國等離子體科學(xué)技術(shù)會(huì)議暨第一屆全國等離子體醫(yī)學(xué)研討會(huì)會(huì)議摘要集[C];2013年

3 李傳輝;劉文正;孫光亮;張蓉蓉;;水表面介質(zhì)阻擋放電等離子體生成特性的研究[A];第十六屆全國等離子體科學(xué)技術(shù)會(huì)議暨第一屆全國等離子體醫(yī)學(xué)研討會(huì)會(huì)議摘要集[C];2013年

4 宋慧敏;吳韋韋;賈敏;崔巍;金迪;;射頻放電等離子體氣動(dòng)激勵(lì)特性實(shí)驗(yàn)研究[A];第十六屆全國等離子體科學(xué)技術(shù)會(huì)議暨第一屆全國等離子體醫(yī)學(xué)研討會(huì)會(huì)議摘要集[C];2013年

5 張仁熙;沈燕;侯惠奇;;介質(zhì)阻擋放電等離子體降解SF_5CF_3的過程研究[A];第十四屆全國等離子體科學(xué)技術(shù)會(huì)議暨第五屆中國電推進(jìn)技術(shù)學(xué)術(shù)研討會(huì)會(huì)議摘要集[C];2009年

6 孫偉;劉汝兵;王萌萌;林麒;;氣體放電等離子體的電磁耦合實(shí)驗(yàn)[A];中國力學(xué)大會(huì)——2013論文摘要集[C];2013年

7 賈敏;崔巍;金迪;宋慧敏;吳云;;氣體放電等離子體氣動(dòng)激勵(lì)特性研究[A];第十六屆全國等離子體科學(xué)技術(shù)會(huì)議暨第一屆全國等離子體醫(yī)學(xué)研討會(huì)會(huì)議摘要集[C];2013年

8 鄭樂;;真空弧放電等離子體的電荷態(tài)分布模擬計(jì)算[A];第十六屆全國等離子體科學(xué)技術(shù)會(huì)議暨第一屆全國等離子體醫(yī)學(xué)研討會(huì)會(huì)議摘要集[C];2013年

9 李賞;歐陽吉庭;;放電等離子體在電磁防護(hù)中的應(yīng)用[A];中國物理學(xué)會(huì)第十五屆靜電學(xué)術(shù)年會(huì)論文集[C];2009年

10 張海燕;葉超;寧兆元;;D5的ECR放電等離子體質(zhì)譜研究[A];第十三屆全國等離子體科學(xué)技術(shù)會(huì)議論文集[C];2007年

相關(guān)博士學(xué)位論文 前7條

1 郝玲艷;大氣壓沿面介質(zhì)阻擋放電等離子體特性研究[D];山東大學(xué);2016年

2 張帥;納秒脈沖空氣均勻介質(zhì)阻擋放電發(fā)射光譜診斷[D];大連理工大學(xué);2016年

3 呂曉桂;大體積均勻納秒脈沖放電等離子體及制備碳納米顆粒的研究[D];大連理工大學(xué);2011年

4 王達(dá)望;新型大氣壓放電等離子體發(fā)生器及其在甲烷偶聯(lián)方面的應(yīng)用研究[D];大連理工大學(xué);2006年

5 楊德正;大氣壓納秒脈沖介質(zhì)阻擋放電光譜特性與應(yīng)用基礎(chǔ)研究[D];大連理工大學(xué);2012年

6 劉金輝;變氣壓脈沖放電等離子體發(fā)展特性的研究[D];華中科技大學(xué);2014年

7 楊晨光;大氣壓納秒脈沖放電等離子體數(shù)值模擬與實(shí)驗(yàn)研究[D];華中科技大學(xué);2013年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前10條

1 梁勇敢;同軸網(wǎng)格空心陰極輝光放電等離子體的實(shí)驗(yàn)與仿真研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2016年

2 張興龍;放電等離子體處理VOCs的智能測控系統(tǒng)研究[D];大連理工大學(xué);2016年

3 邵明緒;低頻放電等離子體靜電探針診斷方法[D];西安電子科技大學(xué);2014年

4 曹星;低氣壓空氣脈沖放電等離子體特性研究[D];華中科技大學(xué);2015年

5 黃宏偉;C_2F_6、C_4F_8雙頻電容耦合等離子體特性研究[D];蘇州大學(xué);2010年

6 徐強(qiáng);放電等離子體極紫外光譜測量及分析[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2009年

7 區(qū)瑞錕;介質(zhì)阻擋放電等離子體中的活性粒子及其降解甲醛的研究[D];華南理工大學(xué);2011年

8 趙曉輝;放電等離子體中XeI準(zhǔn)分子形成過程[D];河北大學(xué);2001年

9 王百榮;脈沖流光放電脫除SO_2的光譜診斷[D];河北大學(xué);2009年

10 楊洋;大氣壓針—板式納秒脈沖介質(zhì)阻擋放電光譜研究[D];大連理工大學(xué);2013年

，

本文編號(hào)：1336724