本文關鍵詞：凸非球面無光焦度雙透鏡Hindle檢驗研究　出處：《量子電子學報》2017年03期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：為實現(xiàn)小口徑Hindle透鏡對大口徑凸非球面的高精度檢測,提出了一種新的凸非球面無光焦度雙透鏡Hindle檢驗方法,通過加入無光焦度校正透鏡有效解決了傳統(tǒng)Hindle檢驗的不足。對口徑180 mm、半徑380 mm、偏心率2.8的凸非球面進行了設計分析,分別給出了不同光焦度分配及不同無光焦度雙透鏡間距時系統(tǒng)的殘余波像差曲線圖,得出較優(yōu)的系統(tǒng)殘余波像差為0.0006λ,驗證了該方法的可行性。
【作者單位】： 中國科學院上海技術物理研究所公共技術室;中國科學院大學;同濟大學物理系;
【基金】：國家973計劃,2011CB013206~~
【分類號】：O435
【正文快照】： l引言凸非球面鏡的檢驗在光學領域中一直是一個難點,特別是大口徑大相對孔徑的凸非球面鏡11?4]�，F(xiàn)代光學用于檢測凸非球面鏡的方法通常包括背部零位補償檢驗CGH檢驗W及Hindle檢驗M。對于金屬材料或者航空航天較常用的SiC材料等非透射式材料,背部補償檢驗則明顯不適用。經典的

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