本文關(guān)鍵詞：基于連續(xù)激光的納米結(jié)構(gòu)研制　出處：《應(yīng)用光學(xué)》2017年02期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：基于激光受激輻射損耗原理的遠(yuǎn)場(chǎng)光學(xué)超分辨成像技術(shù),當(dāng)圓形入射高斯激光經(jīng)過(guò)渦旋相位板調(diào)制后,將轉(zhuǎn)變?yōu)橹行墓鈴?qiáng)為零的圓環(huán)形光束,該形狀的激光束與光敏聚合物作用,能夠制備出具有一定功能的納米結(jié)構(gòu)。介紹了自主搭建的基于圓環(huán)連續(xù)激光光源的激光直寫系統(tǒng),以及利用該系統(tǒng)研制的復(fù)合納米結(jié)構(gòu)。當(dāng)光源為532nm連續(xù)激光輸出時(shí),與正性光刻膠作用,得到直徑50nm的納米柱復(fù)合結(jié)構(gòu),以及整齊均勻的納米柱陣列結(jié)構(gòu);與負(fù)性光刻膠作用,得到直徑100nm的納米通道,以及整齊均勻的中央有納米通道的微米柱復(fù)合結(jié)構(gòu)陣列。當(dāng)光源為405nm連續(xù)光纖激光時(shí),與正性光刻膠作用,也得到了直徑小至153nm的納米柱復(fù)合結(jié)構(gòu)及其陣列。這些納米結(jié)構(gòu)的基本單元尺寸都突破了光學(xué)"阿貝衍射極限"的限制,具有實(shí)用潛力。
【作者單位】： 西北大學(xué)光子學(xué)與光學(xué)技術(shù)研究所國(guó)家級(jí)光電技術(shù)與納米功能材料國(guó)際科技合作研究中心光電技術(shù)與功能材料省部共建國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室培育基地;
【基金】：科技部國(guó)際科技合作項(xiàng)目(2011DFA12220) 國(guó)家自然科學(xué)重大研究計(jì)劃項(xiàng)目(91123030) 國(guó)家自然科學(xué)青年科學(xué)基金項(xiàng)目(11504294) 陜西省教育廳基金項(xiàng)目(2010JS110,14JS107)
【分類號(hào)】：TN249
【正文快照】： 引言當(dāng)今前沿基礎(chǔ)科學(xué)與尖端技術(shù)在微小化方向的發(fā)展已全面進(jìn)入了納米領(lǐng)域。納米科技的發(fā)展為物理、化學(xué)、化工、材料以及生命科學(xué)等學(xué)科的發(fā)展注入了新鮮活力,不但促生新的專業(yè)方向,更領(lǐng)導(dǎo)著新一代的技術(shù)革新。在科學(xué)研究和實(shí)際應(yīng)用中,納米顆粒、納米柱/棒、納米孔及其陣列作

【參考文獻(xiàn)】

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1 陳烽;楊青;邊浩;杜廣慶;柳克銀;孟祥衛(wèi);鄧澤方;山超;;飛秒激光濕法刻蝕微納制造[J];應(yīng)用光學(xué);2014年01期

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1 樓益民;基于激光直寫技術(shù)的微光學(xué)器件的研究[D];蘇州大學(xué);2011年

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本文編號(hào)：1330320