本文關鍵詞：大氣壓He-Ar射頻容性放電Ar亞穩(wěn)態(tài)粒子數(shù)密度　出處：《強激光與粒子束》2017年05期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：利用發(fā)射光譜法測量大氣壓He-Ar混合氣體射頻容性放電中的Ar亞穩(wěn)態(tài)1s5(3s23p54s[3/2]2)粒子數(shù)密度。在不同的放電功率和氣體組分下測量放電等離子體中的重要參數(shù):氣體轉動溫度、電子激發(fā)溫度和Ar亞穩(wěn)態(tài)1s5粒子數(shù)密度。結果表明:氣體溫度在不同放電功率及Ar氣壓在5×10~3 Pa以內(nèi)時變化不大,范圍為300~350K;電子激發(fā)溫度隨著放電功率的增加而增加,并且在Ar氣壓為4×103 Pa時最大,在放電功率為70 W時達到0.58eV;1s5粒子數(shù)密度隨著放電功率以及電子激發(fā)溫度的增加而增加,在放電功率為70 W、Ar氣壓為4×10~3 Pa時達到1.53×10~9 cm~(-3)。
【作者單位】： 華中科技大學武漢光電國家實驗室;
【基金】：武漢光電國家實驗室自主創(chuàng)新基金項目(0214187070)
【分類號】：O461.2
【正文快照】： 光泵浦堿金屬蒸氣激光器以其發(fā)射近紅外光、光束質量高、量子效率高、有可能擴展到高功率激光等優(yōu)點,近年來得到了研究者的重視。不過由于堿金屬蒸氣過于活躍,激發(fā)態(tài)的堿金屬蒸氣會與碳氫化合物緩慢反應,消耗堿金屬蒸氣,而且會污染氣體池窗口,因此研究其他工作氣體成為該類激

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1 李建;王坤;王世慶;柳建;徐靈飛;孫乃峰;;He-Ar潘寧過程對表面波等離子體柱功率的影響[J];真空;2011年05期

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本文編號：1325905