本文關(guān)鍵詞：基于流體模型的波干涉電子密度診斷方法與應(yīng)用　出處：《真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào)》2017年08期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：提出了一種新的基于流體模型的波干涉電子密度(ne)診斷方法,在高/低氣壓條件下分別開(kāi)展了閉式石英腔體內(nèi)的氬氣感應(yīng)耦合等離子體放電實(shí)驗(yàn),利用該方法得到了其不同功率下軸向ne空間分布規(guī)律,在氣壓為1.33 Pa、功率為600 W時(shí),ne峰值在軸向中心,而氣壓為133.32 Pa、600 W時(shí),ne峰值偏離軸向中心向線圈側(cè)轉(zhuǎn)移,ne為10-17/m~3數(shù)量級(jí)且按梯度分布。將該方法分別與單純流體模型下的數(shù)值模擬和朗繆爾探針診斷結(jié)果對(duì)比,發(fā)現(xiàn)該方法克服了流體模型的誤差,保留了微波干涉診斷法的高準(zhǔn)確性特點(diǎn),彌補(bǔ)了微波干涉法的空間分辨率不足的缺點(diǎn)。
【作者單位】： 空軍工程大學(xué)等離子體動(dòng)力學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目:等離子體環(huán)量控制對(duì)翼型起動(dòng)特性的作用機(jī)理和影響研究(批準(zhǔn)號(hào):11402301)資助的課題
【分類號(hào)】：O536
【正文快照】： 當(dāng)飛行器采用閉式感應(yīng)耦合等離子體(ICP)源隱身時(shí),放電腔的外形必須根據(jù)飛行器的特殊部位外形來(lái)設(shè)計(jì),文獻(xiàn)[1]的吸波雷達(dá)罩采用一種由石英制作薄夾層真空腔ICP放電結(jié)構(gòu)。由于真空工藝和結(jié)構(gòu)的限制,無(wú)法加裝郎繆爾探針,因此利用微波單端反射干涉法診斷夾層腔中等離子體的電子密

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本文編號(hào)：1315035