本文關(guān)鍵詞：氧等離子體反應(yīng)器中氧化鋁電介質(zhì)特性　出處：《電工技術(shù)學(xué)報》2017年08期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：絕緣電介質(zhì)層是氧等離子體反應(yīng)器中的重要組成部分,高性能的電介質(zhì)材料保證了氧等離子體反應(yīng)器能夠高效、穩(wěn)定的運(yùn)行。本文對氧化鋁電介質(zhì)材料的特性以及氧等離子體反應(yīng)器長時間工作后電介質(zhì)材料的特性變化進(jìn)行了研究。結(jié)果表明,α-Al_2O_3電介質(zhì)層表面光滑平整、無缺陷,相對介電常數(shù)約為9.79,具有較高的體積電阻率和表面電阻率,損耗因數(shù)很小,有利于氧等離子體反應(yīng)器效能的提升;長時間工作后的α-Al_2O_3電介質(zhì)層基底表面結(jié)構(gòu)、相對介電常數(shù)與體積電阻率基本不變,但其表面會附著一層由316L不銹鋼電極表面濺射產(chǎn)生的黃褐色固態(tài)顆粒物,降低電介質(zhì)層的表面電阻率。研究結(jié)果對優(yōu)化氧等離子體反應(yīng)器具有一定的意義。
【作者單位】： 大連海事大學(xué)輪機(jī)工程學(xué)院;大連海事大學(xué)物理系;
【基金】：國家科技支撐計劃(2013BAC06B02) 海洋公益性行業(yè)科研專項經(jīng)費(fèi)項目(201305027-5) 國家自然科學(xué)青年基金(51309039) 國家重大科研儀器研制項目(61427804) 上海市曙光計劃(15SG44)資助
【分類號】：O539
【正文快照】： 0引言利用介質(zhì)阻擋放電(Dielectric Barrier Discharge,DBD)產(chǎn)生高濃度活性氧粒子(O3,O2+,O2-等),配合高效的氣液混溶技術(shù)高效產(chǎn)生羥基自由基,實現(xiàn)高級氧化技術(shù),可被應(yīng)用船舶壓載水處理領(lǐng)域[1,2]。此外,活性氧粒子也被應(yīng)用于生活飲用水消毒處理[3,4]、廢氣中硫化物和氮氧化物

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本文編號：1310020