本文關(guān)鍵詞：基于鉭酸鋰晶體材料鎳鉻薄膜在14～16μm波段紅外增強吸收特性（英文）

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【摘要】：納米級金屬薄膜能夠作為熱釋電探測器紅外吸收薄膜在14~16μm波段范圍內(nèi)有效應(yīng)用已經(jīng)得到證明.通過調(diào)節(jié)沉積在LT(鉭酸鋰)晶體材料上的納米級鎳鉻(NiCr)薄膜的厚度和表面特征來改善納米金屬薄膜紅外吸收特性.通過調(diào)節(jié)晶體材料的厚度,改變抗反射腔的深度,從而調(diào)節(jié)吸收波長.為進一步加強紅外吸收,應(yīng)用化學(xué)腐蝕,生成粗糙的納米級薄膜表面結(jié)構(gòu),從而極大程度上增加吸收表面積.通過將這兩種方法結(jié)合,可以明顯增強指定波段的紅外吸收,且其制造過程完全兼容,易于實現(xiàn).可控的吸收性能的實驗結(jié)果與仿真和設(shè)計情況相符合.
【作者單位】： 電子科技大學(xué)電子薄膜與集成器件國家重點實驗室;
【基金】：Supported by National Science Funds for Creative Research Groups of China(61421002) National Natural Science Foundation of China(61405027) the Postdoctoral Science Foundation of China(2014M562296) Fundamental Research Funds for the Central Universities(ZYGX2011X012)
【分類號】：O484
【正文快照】： effective detectors[3-4].In pyroelectric detectors,the ra-Introductiondiation energy heats the sensing element,changing itspolarization and producing an electrical output propor-The infrared characteristics of thin metal films aretional to the incident o

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