本文關(guān)鍵詞：偏振雙向衰減對光學(xué)成像系統(tǒng)像質(zhì)影響的矢量平面波譜理論分析

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【摘要】：偏振雙向衰減(diattenuation)是指偏振元件引入的光場傳播過程中表征電矢量的兩個正交偏振態(tài)的振幅變化特性.在大部分有關(guān)偏振像差的討論中,聚焦光場偏振態(tài)的振幅變化對其分布的影響較小而不被重視.但在一些大相對孔徑光學(xué)系統(tǒng)中,對于分束器、光調(diào)制器等有復(fù)雜平面介質(zhì)結(jié)構(gòu)的低透過率光學(xué)元件而言,引入的偏振相關(guān)的振幅調(diào)制相對大得多.本文依據(jù)矢量平面波譜理論,建立了笛卡爾坐標(biāo)系下的理想光學(xué)成像系統(tǒng)的矢量光學(xué)模型,驗證了與德拜矢量衍射積分的一致性.在線偏振光入射的條件下,對在匯聚光路中使用的光學(xué)元件的偏振雙向衰減特性對成像質(zhì)量的影響進(jìn)行理論研究.結(jié)果表明,在調(diào)制傳遞函數(shù)的低頻率處(v0.2NA/λ),這種影響是可以忽略的;隨著空間頻率的增加,光學(xué)元件的偏振雙向衰減特性對成像系統(tǒng)調(diào)制傳遞函數(shù)的影響逐漸變大.若要求調(diào)制傳遞函數(shù)的數(shù)值不低于衍射極限的90%,中頻處(0.2NA/λv0.8NA/λ),s光和p光的透射/反射系數(shù)之比至少需要控制在[0.63,1.6]的范圍內(nèi);而當(dāng)v0.8NA/λ時,則需要控制在[0.9,1.11]的范圍內(nèi).隨著光學(xué)系統(tǒng)光軸與光學(xué)分界面法向的傾角增加,容差范圍有所放寬.
【作者單位】： 中國科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所;中國科學(xué)院大學(xué);
【基金】：國家自然科學(xué)基金(批準(zhǔn)號:11274377) 財政部重大科研裝備儀器項目(批準(zhǔn)號:ZDY2011-2)資助的課題~~
【分類號】：O436.3
【正文快照】： 偏振特性導(dǎo)致的聚焦特性變化一般稱之為偏振像1引言 差W1.由于平面波在光學(xué)分界面處的連續(xù)條件隨.,^曰 角度變化趨勢不一致,在諸如大數(shù)值孔徑光刻系統(tǒng)理想光學(xué)成像系統(tǒng)的焦平面光場分布由標(biāo)量 +姐、,六—中,邊緣光線的入射角往往較大,偏振像差的存在衍射理論決定,對于波RG像差

【參考文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 李e，

本文編號：1291810