本文關(guān)鍵詞：化學刻蝕過程中熔石英表面沉積物的形成及其對激光損傷的影響

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【摘要】：化學刻蝕是提升熔石英光學元件抗激光損傷性能的重要后處理技術(shù)之一,但刻蝕后熔石英表面附著的沉積物對其表面質(zhì)量、透射性能和抗激光損傷性能有很大影響。使用光學顯微鏡和原子力顯微鏡表征了化學刻蝕后附著于熔石英表面的沉積物的微觀形貌,并分析了其形成機理;X射線能譜分析表明化學刻蝕后熔石英表面沉積物主要由Fe,Ni,Al等元素的金屬鹽組成。損傷閾值測試結(jié)果表明熔石英表面高密度沉積物區(qū)域的損傷閾值明顯低于非沉積物區(qū)域,沉積物對熔石英光學元件的抗激光損傷性能產(chǎn)生嚴重影響,它們是誘導熔石英激光損傷的前驅(qū)體。
【作者單位】： 中國工程物理研究院激光聚變研究中心;中國工程物理研究院研究生院;北京科技大學數(shù)理學院;
【基金】：國家自然科學基金重點項目(51535003);國家自然科學基金青年科學基金項目(11404301,61405180)
【分類號】：TQ127.2;TN24
【正文快照】： 熔石英光學元件是高功率激光裝置終端光學組件中的重要元件之一,高通量紫外激光輻照易導致光學元件損傷,熔石英光學元件的激光損傷問題是制約目前高功率激光裝置發(fā)展的技術(shù)瓶頸之一,是影響其長期穩(wěn)定運行的關(guān)鍵挑戰(zhàn)[1]。改善熔石英光學元件的抗激光損傷性能,延長其使用壽命是

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3 段利華;廖克俊;萬步勇;陳寧;胡建平;張問輝;;化學處理對熔石英表面抗激光損傷閾值的影響[A];海峽兩岸第二屆工程材料研討會論文集[C];2004年

4 江天;程湘愛;;DF激光輻照下熔石英的溫度場與應(yīng)力場[A];第九屆全國物理力學學術(shù)會議論文集[C];2009年

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