本文關(guān)鍵詞：基于激光陣列的多通道微梁生化傳感系統(tǒng)

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【摘要】：針對單微懸臂梁生化檢測系統(tǒng)中存在的溫度漂移、溶液折射率變化等環(huán)境噪聲影響和不能多目標(biāo)檢測等問題,設(shè)計制作了一種基于垂直腔面射型激光器陣列(VCSELs)的新型微懸臂梁陣列生化傳感系統(tǒng)。利用雙透鏡組光路匯聚激光器陣列發(fā)出的激光束,依次照射到微懸臂梁陣列尖端進行精確定位掃描,實現(xiàn)了5根微懸臂梁變形信號的同步檢測。該系統(tǒng)具有靈敏度高、一致性好、檢測快速等優(yōu)點。通過升降溫動態(tài)實驗測試,驗證了該系統(tǒng)的穩(wěn)定可靠性。上述結(jié)果為微懸臂梁陣列式生化傳感技術(shù)的開展提供了一種新的方法和平臺。
【作者單位】： 中國電子科技集團公司第三十八研究所微電子封裝研究中心;
【分類號】：TN248;TP212
【正文快照】： 0引言近年來,隨著原子力顯微技術(shù)和微機電加工技術(shù)的發(fā)展,在生化檢測領(lǐng)域逐漸演化出一種基于力學(xué)效應(yīng)的高靈敏度微懸臂梁(以下簡稱“微梁”)傳感技術(shù),該技術(shù)具有檢測靈敏度高、無需標(biāo)記、能實時原位再現(xiàn)生化反應(yīng)信息等優(yōu)點。其檢測原理是:微梁單側(cè)表面上固定有探針分子,與樣品，

本文編號：1290753