本文關(guān)鍵詞：HeNe激光雙折射外腔回饋位移測(cè)量儀研究

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【摘要】：基于單模激光器的雙折射外腔回饋位移測(cè)量系統(tǒng)能輸出兩路回饋條紋信號(hào),且條紋相位差不受回饋外腔長的影響,因此在研制大量程、高分辨位移測(cè)量系統(tǒng)方面極具潛力。開展了雙折射外腔回饋的相關(guān)現(xiàn)象研究,研制了性能優(yōu)良的位移測(cè)量儀器。穩(wěn)頻和回饋外腔掃描技術(shù)相結(jié)合,進(jìn)一步提高了系統(tǒng)的頻率穩(wěn)定度(優(yōu)于10-7)和抗干擾性能力。試驗(yàn)對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行了零漂、拍頻和比對(duì)測(cè)試,其量程超過200 mm,分辨率為15.82 nm,線性度優(yōu)于2.3×10-7。分析了系統(tǒng)的主要誤差來源,估算了總的測(cè)量誤差為0.21μm�；仞佄灰茰y(cè)量儀具有結(jié)構(gòu)簡單、分辨率高、線性度好以及測(cè)量范圍大的優(yōu)點(diǎn),工業(yè)應(yīng)用前景廣闊。
【作者單位】： 南通大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院;清華大學(xué)精密測(cè)試技術(shù)及儀器國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(51375262,61475082) 北京市科委項(xiàng)目(Z151100002415027)
【分類號(hào)】：TN24
【正文快照】： 0引言激光回饋,又稱作自混合干涉,是指激光器輸出光被外部反射物體反射后,部分光重新回到激光器諧振腔,與輸出光干涉。由于受到反射物體的作用,回饋光中包含了反射物體的速度、方向和位移等信息。和傳統(tǒng)的雙光束干涉現(xiàn)象一樣,激光回饋信號(hào)的一個(gè)周期信號(hào)對(duì)應(yīng)反射物體的半波長

【相似文獻(xiàn)】

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