本文關(guān)鍵詞：激光誘導(dǎo)沉積高粘度銀漿制備微結(jié)構(gòu)的研究

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【摘要】：激光誘導(dǎo)向前轉(zhuǎn)移是近些年來興起的一種微加工技術(shù),可以用來轉(zhuǎn)移金屬材料、生物材料和各向異性材料等。進(jìn)行了利用納秒激光誘導(dǎo)沉積高粘度導(dǎo)電銀漿的實(shí)驗(yàn)研究,并對(duì)接收層上沉積的銀漿進(jìn)行觀察分析,探討了激光脈沖能量和與接收層的距離對(duì)沉積效果的影響,分析了沉積過程,沉積出連續(xù)銀漿導(dǎo)線,并分析其導(dǎo)電特性。實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn),當(dāng)激光脈沖能量為87μJ,與接收層的距離為40μm時(shí),沉積點(diǎn)均勻穩(wěn)定,直徑為一百多微米。通過調(diào)節(jié)三維平臺(tái)帶動(dòng)靶材移動(dòng),用交叉打點(diǎn)的方法進(jìn)行沉積,可制備出連續(xù)銀漿導(dǎo)線,導(dǎo)線的寬度約100μm,電阻率達(dá)6.12×10~(-8)Ωm,與靶材的電阻率相差不大,可以用于微電路和微傳感器等的制備。一維線狀連續(xù)微結(jié)構(gòu)的成功制備,為以后沉積二維微結(jié)構(gòu),甚至三維結(jié)構(gòu)奠定了基礎(chǔ)。
【作者單位】： 廣東工業(yè)大學(xué)特種能場(chǎng)加工實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(No.11172072);國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(No.51175091)資助
【分類號(hào)】：TN249
【正文快照】： 激光誘導(dǎo)向前轉(zhuǎn)移(LIFT)早在19世紀(jì)70年代 業(yè)的應(yīng)用,有學(xué)者利用Nd:YAG脈沖激光和石墨耙就有學(xué)者提出,經(jīng)過幾十年的發(fā)展,針對(duì)不同靶材,材打印出線寬小于3(Vm的圖案[1]。Nakatau]等研1引言已有相當(dāng)多的研究成果。早期的研究關(guān)注于印刷行 究了小分子有機(jī)物的激光誘導(dǎo)向前轉(zhuǎn)移,碳，

本文編號(hào)：1282129