本文關(guān)鍵詞：氬氧流量比對(duì)CeO_x-SnO_x膜微觀結(jié)構(gòu)及光學(xué)性能的影響

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【摘要】：采用磁控反應(yīng)共濺射的方法,以金屬Ce和Sn為金屬源,成功地制備出CeO_x-SnO_x薄膜。利用掃描電子顯微鏡(SEM)、X射線衍射(XRD)、透射電子顯微鏡(TEM)和X射線光電子能譜(XPS)等測(cè)試手段對(duì)薄膜的結(jié)構(gòu)、表面形貌及成分進(jìn)行了分析和表征。結(jié)果表明薄膜以島狀模式生長(zhǎng),隨氬氧比降低,結(jié)晶性增強(qiáng),出現(xiàn)CeO_2和SnO相。此外,利用紫外-可見(jiàn)分光光度計(jì)對(duì)薄膜的光學(xué)性能進(jìn)行了研究,測(cè)試結(jié)果表明薄膜對(duì)紫外光有極強(qiáng)的吸收作用。當(dāng)氬氧流量比為3∶1時(shí),紫外光平均透過(guò)率僅為5.80%,而可見(jiàn)光平均透過(guò)率為81.48%。
【作者單位】： 海南大學(xué)南海海洋資源利用國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;海南省特種玻璃國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃(2016YFC0700804)
【分類(lèi)號(hào)】：O484
【正文快照】： 1引言普通玻璃在透過(guò)可見(jiàn)光的同時(shí)也會(huì)透過(guò)大量的紫外輻射,使織物、紙制品及有機(jī)材料制品加速老化,灼傷人體皮膚,對(duì)人們的生活造成負(fù)面影響。在很多情況下,人們希望玻璃能夠透過(guò)可見(jiàn)光同時(shí)阻止紫外輻射的透過(guò)。Sn O2是一種寬禁帶半導(dǎo)體材料,其禁帶寬度約為3.5~4.0 e V,常用于，

本文編號(hào)：1279592