本文關(guān)鍵詞：離子束濺射氧化鉿薄膜的能帶特性

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【摘要】：氧化鉿是高激光損傷閾值薄膜領(lǐng)域內(nèi)一種重要的高折射率材料,其禁帶寬度和Urbach帶尾寬度直接影響到薄膜的吸收和激光損傷閾值。針對離子束濺射沉積法制備的氧化鉿薄膜,以基板溫度、離子束電壓、離子束電流和氧氣流量為主要制備參數(shù),提出了基于正交實驗的光學(xué)帶隙調(diào)整方法,并采用Cody-Lorentz介電常數(shù)模型表征了薄膜的禁帶寬度和帶尾寬度。研究結(jié)果表明,當(dāng)置信概率為90%時,在影響氧化鉿薄膜禁帶寬度的制備因素中,影響權(quán)重從大到小依次為基板溫度、離子束電流和氧氣流量,采用低基板溫度、中等離子束電流和低氧氣流量制備參數(shù)組合,可以獲得高禁帶寬度的氧化鉿薄膜;對帶尾寬度影響最大的制備參數(shù)是基板溫度,其他參數(shù)影響不顯著,在高基板溫度下可以獲得較低的帶尾寬度,這表明氧化鉿薄膜的無序度較低。
【作者單位】： 中國航天科工飛航技術(shù)研究院天津津航技術(shù)物理研究所天津市薄膜光學(xué)重點實驗室;哈爾濱工業(yè)大學(xué)光電子技術(shù)研究所可調(diào)諧激光技術(shù)國防科技重點實驗室;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(61405145,61235011) 天津市自然科學(xué)重點基金(15JCZDJC31900) 中國博士后科學(xué)基金(2014 M560104,2015T80115)
【分類號】：O484
【正文快照】： 2哈爾濱工業(yè)大學(xué)光電子技術(shù)研究所可調(diào)諧激光技術(shù)國防科技重點實驗室,黑龍江哈爾濱1500800231001-1氧化鉿(HfO2)是紫外到近紅外波段重要的高折射率材料之一,具有較高的禁帶寬度和高激光損傷閾值,且耐腐蝕、易于制備,在激光光學(xué)薄膜尤其是在高損傷閾值激光薄膜技術(shù)領(lǐng)域具有廣泛

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