本文關鍵詞：透射式硅基液晶微顯示器研制

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【摘要】：設計并研制了一種單色透射式硅基液晶微顯示器,詳細論述了透射式硅基液晶微顯示器的整個研制工藝流程。為實現透射式結構,驅動背板芯片采用SOI CMOS工藝設計并且流片;使用兩次鍵合的工藝完成了驅動背板芯片硅外延層的剝離和轉移,掌握了實現透明背板的關鍵技術;以此透明背板為驅動基板完成了SXGA單色透射式硅基液晶微顯示器的研制。
【作者單位】： 國家平板顯示工程技術研究中心;中國電子科技集團公司第五十五研究所;總參陸航部駐上海地區(qū)軍事代表室;
【關鍵詞】： 微顯示器 透射式硅基液晶 集成電路外延層剝離與轉移
【基金】：總裝備部預研管理中心“十二五”預研項目支持
【分類號】：TN873.93
【正文快照】： 3.總參陸航部駐上海地區(qū)軍事代表室,上海200233)*引言硅基液晶(Liquid Crystal on Silicon,LCoS)微顯示器,它融合了半導體CMOS集成電路與液晶顯示兩項技術的優(yōu)勢,具有尺寸小和分辨率高的雙重特點。硅基液晶微顯示器利用晶體硅CMOS芯片背板集成有源矩陣像素電路及行列驅動電路,

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