發(fā)布時(shí)間：2017-05-29 15:08

  本文關(guān)鍵詞：基于DVD激光頭的微位移檢測(cè)技術(shù)研究，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：在精密測(cè)量時(shí),由于測(cè)量精度要求達(dá)到微米甚至是納米級(jí)別,接觸式檢測(cè)方法容易產(chǎn)生彈性形變而影響測(cè)量精度,甚至對(duì)被測(cè)元件表面造成磨損,因此,非接觸式測(cè)量更利于精密檢測(cè)。非接觸式檢測(cè)方法具有測(cè)量速度快,測(cè)量精度高等優(yōu)點(diǎn),故越來(lái)越廣泛的應(yīng)用在精密測(cè)量中�，F(xiàn)在市場(chǎng)上的非接觸測(cè)量?jī)x器主要有電容傳感器、電感傳感器、激光干涉儀等,但是成本較高,且不易于搬運(yùn)和攜帶,操作復(fù)雜,故其應(yīng)用范圍比較局限。本文在研究數(shù)字多功能光盤(pán)(DVD)激光頭的自動(dòng)聚焦原理的基礎(chǔ)上,利用音圈電機(jī)的位移與其驅(qū)動(dòng)電壓在一定范圍內(nèi)呈線性的方法,對(duì)DVD激光頭聚焦誤差信號(hào)進(jìn)行補(bǔ)償放大得到伺服聚焦誤差信號(hào),即音圈電機(jī)的驅(qū)動(dòng)電壓,從而得到位移量。本文設(shè)計(jì)了微位移測(cè)量系統(tǒng)并進(jìn)行測(cè)試,分析了測(cè)試結(jié)果及誤差產(chǎn)生因素�；贒VD激光頭測(cè)微位移的檢測(cè)方法精度高、檢測(cè)成本低,測(cè)量范圍能達(dá)到200um,測(cè)量精度達(dá)到200nm,可廣泛應(yīng)用于各種復(fù)雜的精密檢測(cè)中。
【關(guān)鍵詞】：DVD激光頭 自動(dòng)聚焦 微位移 精密測(cè)量
【學(xué)位授予單位】：西南科技大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2015
【分類(lèi)號(hào)】：TN946.5
【目錄】：

• 摘要4-5
• abstract5-8
• 1 緒論8-17
• 1.1 本研究課題的學(xué)術(shù)背景及理論與實(shí)際意義8-9
• 1.2 國(guó)內(nèi)外研究水平和發(fā)展趨勢(shì)9-14
• 1.2.1 非接觸式檢測(cè)方法10-14
• 1.2.1.1 非光學(xué)測(cè)量方法10-11
• 1.2.1.2 光學(xué)測(cè)量方法11-14
• 1.3 激光微位移測(cè)量技術(shù)的研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(shì)14-17
• 2 激光頭結(jié)構(gòu)分析及工作原理17-25
• 2.1 激光頭的基本構(gòu)造17-20
• 2.1.1 激光二極管17-18
• 2.1.2 四象限光電感測(cè)器18-19
• 2.1.3 聚焦物鏡19-20
• 2.1.4 執(zhí)行器20
• 2.2 激光頭的自動(dòng)聚焦原理20-22
• 2.3 像散法自動(dòng)聚焦22-24
• 2.4 本章總結(jié)24-25
• 3 激光頭的伺服控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)25-36
• 3.1 激光頭執(zhí)行機(jī)構(gòu)參數(shù)分析25-28
• 3.2 伺服控制系統(tǒng)的數(shù)學(xué)模型28-30
• 3.3 聚焦伺服控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)30-35
• 3.3.1 聚焦伺服控制系統(tǒng)30-31
• 3.3.2 聚焦伺服控制系統(tǒng)的補(bǔ)償放大控制31-35
• 3.4 本章總結(jié)35-36
• 4 基于DVD激 光頭的微位移檢測(cè)系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)36-52
• 4.1 實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)36-37
• 4.2 實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)設(shè)計(jì)37-38
• 4.3 實(shí)驗(yàn)條件及環(huán)境38-41
• 4.3.1 實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)平臺(tái)38-39
• 4.3.2 實(shí)驗(yàn)環(huán)境及條件39-40
• 4.3.3 實(shí)驗(yàn)芯片功能介紹40-41
• 4.4 系統(tǒng)測(cè)試及分析41-51
• 4.4.1 聚焦誤差信號(hào)的測(cè)量41-47
• 4.4.2 伺服聚焦誤差信號(hào)與離焦量的關(guān)系47-49
• 4.4.3 系統(tǒng)性能分析49-51
• 4.5 本章總結(jié)51-52
• 5 實(shí)測(cè)系統(tǒng)中的誤差因素分析52-64
• 5.1 儀器本身的系統(tǒng)誤差分析52-61
• 5.1.1 四象限感測(cè)器的誤差分析52-57
• 5.1.2 柱面鏡的誤差分析57-59
• 5.1.3 分光鏡的誤差分析59-60
• 5.1.4 聚焦物鏡的誤差分析60-61
• 5.2 設(shè)計(jì)系統(tǒng)誤差分析61-62
• 5.2.1 系統(tǒng)的噪聲分析61
• 5.2.2 系統(tǒng)的安裝誤差分析61-62
• 5.3 環(huán)境因素誤差分析62
• 5.4 本章總結(jié)62-64
• 6 結(jié)論與展望64-65
• 致謝65-66
• 參考文獻(xiàn)66-70
• 攻讀 學(xué)位期間發(fā)表論文和承擔(dān)的科研任務(wù)70-71
• 附錄71-74
• 附圖1 FES形成原理圖71
• 附圖2 補(bǔ)償放大原理圖71-72
• 附圖3 伺服聚焦控制電路原理圖72-73
• 附圖4 PCB硬件電路實(shí)物圖73
• 附圖5 補(bǔ)償控制電路框圖73-74
• 附圖6 聚焦誤差信號(hào)測(cè)試系統(tǒng)框圖74
• 附圖7 伺服聚焦誤差信號(hào)測(cè)試系統(tǒng)框圖74

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