微半球諧振陀螺儀（μHRG）作為MEMS器件研究領(lǐng)域的熱門方向,以其體積小、精度高、功耗低、使用壽命長及批量化生產(chǎn)的優(yōu)點,已經(jīng)成為國內(nèi)外科研單位的重點。本文圍繞微半球諧振陀螺儀的能量耗散和頻率裂解機(jī)理展開仿真分析和結(jié)構(gòu)設(shè)計,以設(shè)計實際加工工藝流程和優(yōu)化具體方案步驟為重點,加工制備高品質(zhì)因數(shù)的微半球諧振陀螺儀。首先,對微半球諧振陀螺儀國內(nèi)外的研究情況介紹展開,對國內(nèi)外科研單位提出的各種形式的微半球諧振陀螺儀以及相關(guān)的工藝方法進(jìn)行闡釋,明確課題的研究價值與研究意義,為微半球諧振陀螺儀的建模仿真、結(jié)構(gòu)設(shè)計和工藝設(shè)計提供有益的借鑒與參考價值。其次,介紹了微半球諧振陀螺儀的工作原理,通過基希霍夫-李雅夫假設(shè)建立數(shù)學(xué)模型并求解微半球諧振子的運動方程和進(jìn)動特性;詳細(xì)介紹了微半球諧振陀螺儀兩種工作模式,包括位置激勵和參數(shù)激勵,為后續(xù)工作提供理論基礎(chǔ)。第三,闡釋了微半球諧振陀螺儀各種能量耗散形式與頻率裂解機(jī)理,通過Comsol Multiphysics仿真軟件,詳細(xì)分析了微半球諧振子材料對熱彈性阻尼的影響,以及微半球材料、結(jié)構(gòu)參數(shù)對支撐損耗的影響;通過對引起模態(tài)頻率裂解方式的數(shù)學(xué)模型推導(dǎo)和求解,為后續(xù)微... 

【文章頁數(shù)】：77 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

玻璃吹塑成型法

驅(qū)動檢測電極自對準(zhǔn)陣列式玻璃半球殼密歇根大學(xué)的K.Najafi等人[10]

熔融石英玻璃吹制工藝示意圖

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]高端MEMS固體波動陀螺的發(fā)展與應(yīng)用[J]. 權(quán)海洋,楊栓虎,陳效真,王浩.  導(dǎo)航與控制. 2017(06)
[2]半球諧振陀螺研究現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢[J]. 潘瑤,曲天良,楊開勇,羅暉.  導(dǎo)航定位與授時. 2017(02)
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[4]微機(jī)械陀螺儀的新進(jìn)展及發(fā)展趨勢[J]. 許昕,何杰,王文,卜繼軍.  壓電與聲光. 2014(04)
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[7]半球諧振陀螺的關(guān)鍵技術(shù)──信號閉環(huán)檢測理論及電路[J]. 郭栓運，于集建.  應(yīng)用光學(xué). 1994(05)
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碩士論文
[1]微玻璃半球諧振陀螺的結(jié)構(gòu)設(shè)計及工藝研究[D]. 白冰.中北大學(xué) 2017



本文編號：3665689