硅微機械陀螺儀的驅(qū)動模態(tài)采用自激閉環(huán)的控制方式,實現(xiàn)陀螺在諧振頻率上恒幅振蕩。針對陀螺起振后的信號,設(shè)計基于CORDIC算法、LMS自適應(yīng)算法及硬件頻率計的正弦信號幅度和頻率的檢測系統(tǒng),得到陀螺驅(qū)動模態(tài)振動幅值。實驗表明:驅(qū)動響應(yīng)信號的頻率檢測精度為0. 5×10^-6,幅度檢測精度為2×10^-6,振動幅值基本維持在0. 800 V不變,證明了該檢測系統(tǒng)的實用性。 

【文章來源】：傳感器與微系統(tǒng). 2020,39(02)

【文章頁數(shù)】：4 頁

【部分圖文】：

正弦自激閉環(huán)驅(qū)動控制系統(tǒng)框圖

起振后陀螺驅(qū)動響應(yīng)正弦波

驅(qū)動響應(yīng)信號頻率及幅度

【參考文獻】：
期刊論文
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本文編號：3081226