硅微機(jī)械陀螺儀的驅(qū)動(dòng)模態(tài)采用自激閉環(huán)的控制方式,實(shí)現(xiàn)陀螺在諧振頻率上恒幅振蕩。針對(duì)陀螺起振后的信號(hào),設(shè)計(jì)基于CORDIC算法、LMS自適應(yīng)算法及硬件頻率計(jì)的正弦信號(hào)幅度和頻率的檢測(cè)系統(tǒng),得到陀螺驅(qū)動(dòng)模態(tài)振動(dòng)幅值。實(shí)驗(yàn)表明:驅(qū)動(dòng)響應(yīng)信號(hào)的頻率檢測(cè)精度為0. 5×10^-6,幅度檢測(cè)精度為2×10^-6,振動(dòng)幅值基本維持在0. 800 V不變,證明了該檢測(cè)系統(tǒng)的實(shí)用性。 

【文章來(lái)源】：傳感器與微系統(tǒng). 2020,39(02)

【文章頁(yè)數(shù)】：4 頁(yè)

【部分圖文】：

正弦自激閉環(huán)驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)框圖

起振后陀螺驅(qū)動(dòng)響應(yīng)正弦波

驅(qū)動(dòng)響應(yīng)信號(hào)頻率及幅度

【參考文獻(xiàn)】：
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