【摘要】：通過(guò)對(duì)大量Zara樣品進(jìn)行分析,構(gòu)建了不良現(xiàn)象——對(duì)應(yīng)原因(Phenomenon-Cause)的4種理論模式,并基于此理論設(shè)計(jì)了改善Zara的實(shí)驗(yàn)。通過(guò)分析發(fā)現(xiàn):約5μm左右可移動(dòng)的Zara主要為摩擦工藝過(guò)程產(chǎn)生的碎屑;10~25μm按壓不動(dòng)的Zara主要為取向膜涂覆過(guò)程中的顆粒引起;輪廓清晰尺寸較大的Zara主要來(lái)自環(huán)境顆粒;無(wú)清晰輪廓且體積較大的Zara主要為摩擦取向失效形成的島狀漏光。為降低Zara不良進(jìn)行實(shí)驗(yàn),結(jié)果顯示:增加取向膜在基板上的覆蓋率以及變更彩膜涂層材料可有效降低Zara不良的發(fā)生率;此外,減小柱狀隔墊物的坡度角度能夠從源頭上有效防止Zara的產(chǎn)生。Zara不良的研究與改善提升了小尺寸FFS產(chǎn)品的良率5%以上,為企業(yè)的穩(wěn)定高效生產(chǎn)奠定了基礎(chǔ)。
【圖文】：

板在暗態(tài)畫(huà)面下顯示區(qū)域發(fā)生的微小漏光現(xiàn)象［４］。由于日本在ＴＦＴ－ＬＣＤ方面起步較早，技術(shù)水平先進(jìn)，所以業(yè)內(nèi)一直沿用至今。本文通過(guò)對(duì)小尺寸ＦＦＳ產(chǎn)品Ｚａｒａ類(lèi)不良分析，收集大量數(shù)據(jù)，建立了Ｐｈｅｎｏｍｅｎｏｎ－Ｃａｕｓｅ的４種理論模式，并針對(duì)廣泛發(fā)生的前２種模式Ｚａｒａ進(jìn)行試驗(yàn)，得到可明顯改善Ｚａｒａ不良的方法。２Ｚａｒａ的現(xiàn)象全黑畫(huà)面下面板上的小亮點(diǎn)（如圖１）。１００×目鏡觀察小亮點(diǎn)可見(jiàn)非全像素的發(fā)亮，排除ＴＦＴ開(kāi)關(guān)異常的可能。圖１Ｚａｒａ現(xiàn)象示意圖Ｆｉｇ．１ＳｃｈｅｍａｔｉｃｏｆＺａｒａｐｈｅｎｏｍｅｎｏｎ在小尺寸面板生產(chǎn)中，此類(lèi)Ｚａｒａ為常見(jiàn)不良，且形態(tài)多樣，形成原因較多，比較嚴(yán)重的影響產(chǎn)品良率，對(duì)該不良的改善與解決尤為迫切。３Ｚａｒａ的分類(lèi)與產(chǎn)生原因我們對(duì)收集的１３２個(gè)Ｚａｒａ進(jìn)行顯微鏡觀察，依據(jù)現(xiàn)象可將其分為４類(lèi)，分別命名為模式①～④，其現(xiàn)象與分類(lèi)依據(jù)的特點(diǎn)如表１所述。表１Ｚａｒａ的分類(lèi)及特點(diǎn)Ｔａｂ．１ＣｌａｓｓｉｆｉｃａｔｉｏｎａｎｄｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｏｆＺａｒａ分類(lèi)模式①模式②模式③模式④數(shù)量４０４４４１７目鏡圖片顯微鏡圖片６９８液晶與顯示第２９卷

；此步驟對(duì)模式①Ｚａｒａ無(wú)效，因該模式Ｚａｒａ會(huì)跟隨著液晶移動(dòng)或者消失在黑矩陣下，無(wú)法標(biāo)記；其余模式的Ｚａｒａ均可采用此方法精確定位。步驟二：剖屏沖液晶后高倍顯微鏡觀察標(biāo)記位置；步驟三：采用聚焦離子束測(cè)試儀（ＦＩＢ）觀察標(biāo)記位置的表面形貌；步驟四：利用ＥＤＸ全息掃描對(duì)Ｚａｒａ點(diǎn)進(jìn)行成分分析；通過(guò)對(duì)各模式分析，得到如下結(jié)果：（１）模式①，樣本１～４在剖屏前均為輕觸不良區(qū)域，Ｚａｒａ樣本即產(chǎn)生大范圍移動(dòng)或隱蔽到黑矩陣下，剖屏后完全消失，如圖２。該模式的顆粒尺寸較小，在１０μｍ以?xún)?nèi)。由于無(wú)法定位，暫未得到準(zhǔn)確的ＦＩＢ結(jié)果。但取向膜材料大多是聚酰亞胺材料［５］，摩擦工藝過(guò)程會(huì)產(chǎn)生摩擦碎屑，當(dāng)摩擦后清洗過(guò)程中未有效清除則形成此類(lèi)Ｚａｒａ。另一個(gè)原因?yàn)閷?duì)盒工藝液晶原材中含有細(xì)小雜質(zhì)，即所觀察到的浮游性小顆粒，目前暫未有此方面的驗(yàn)證數(shù)據(jù)，有待繼續(xù)研究。圖２模式①按壓前后對(duì)比圖片Ｆｉｇ．２Ｃｏｍｐａｒａｔｉｖｅｐｉｃｔｕｒｅｂｅｆｏｒｅａｎｄａｆｔｅｒｐｒｅｓｓｉｎｇｔｈｅｓｕｒｆａｃｅｏｆｍｏｄｅ①（２）模式②，樣本１～４均經(jīng)過(guò)剖屏，沖洗液晶，氣槍吹干等過(guò)程，制取了ＦＩＢ樣品，所得表面形貌特征列舉如下：樣本１，如圖３，剖屏去液晶后ＴＦＴ側(cè)無(wú)損傷，彩膜基板側(cè)取向膜可見(jiàn)明顯凹坑，凹坑四周邊緣清晰，，表明取向膜未固化前該位置有一近似橢圓的顆粒粘附，后因?yàn)槟Σ良扒逑�，顆粒掉落。全息掃描結(jié)果顯示凹坑中間露出主要含Ｃ元素的彩膜涂層膜層。圖３樣本１顯微鏡及ＦＩＢ圖片Ｆｉｇ．３ＭｉｃｒｏｓｃｏｐｅａｎｄＦＩＢｐｉｃｔ
【作者單位】： 合肥鑫晟光電科技有限公司;合肥京東方光電科技有限公司;
【分類(lèi)號(hào)】：TN873

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本文編號(hào)：2520911